[發(fā)明專利]半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的程序處理方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710039198.4
• 申請(qǐng)日: 2007-04-06
• 公開（公告）號(hào): CN101281393A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾繁中;錢洪濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/04
• 分類號(hào): G05B19/04;H01L21/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.?一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的程序處理方法，其包括：提供程序管理裝置，其具有程序控制模塊；提供與程序管理裝置相接通的數(shù)個(gè)工作設(shè)備，所述數(shù)個(gè)工作設(shè)備均具有執(zhí)行相同工藝步驟的程序；其特征在于：在上述程序控制模塊內(nèi)修改程序；程序管理裝置將修改后的程序一次向所需修改的工作設(shè)備傳輸，更新工作設(shè)備內(nèi)的程序。

2.?如權(quán)利要求1所述的程序處理方法，其特征在于：程序管理裝置的程序控制模塊進(jìn)行修改程序步驟后，進(jìn)行選擇所需修改工作設(shè)備的步驟。