[發明專利]濕法蝕刻裝置

有效

• 申請號: 200710037442.3
• 申請日: 2007-02-12
• 公開（公告）號: CN101246807A
• 公開（公告）日: 2008-08-20
• 發明（設計）人: 段海東;賴力彰;肖方;張正榮
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;G05B19/04;F04D15/00;F04D15/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 逯長明

1.一種濕法蝕刻裝置，包括用以輸送蝕刻混合液的循環泵和用以補充蝕刻反應化學品的補給泵，其特征在于，還包括聯動控制系統，根據濕法蝕刻裝置系統的提示控制循環泵關閉時，關閉補給泵，所述聯動控制系統包括，

補給泵控制裝置，根據機臺控制模塊的控制信號開啟或關閉，并在開啟時接收聯動裝置傳送的電壓信號發送給補給泵來啟動補給泵；

循環泵控制裝置，根據機臺控制模塊的控制信號開啟或關閉，并在開啟時接收恒壓源發送的電壓信號發送給循環泵來啟動循環泵；

聯動裝置，與循環泵控制裝置并聯于機臺控制模塊，根據機臺控制模塊的控制信號開啟或關閉，并在開啟時接收恒壓源發送的電壓信號向補給泵控制裝置傳送；

恒壓源，用于向循環泵控制裝置和聯動裝置提供啟動循環泵和補給泵的電壓信號；

機臺控制模塊，根據濕法蝕刻裝置系統的提示發送控制信號來控制補給泵控制裝置、循環泵控制裝置和聯動裝置開啟或關閉。

2.如權利要求1所述的濕法蝕刻裝置，其特征在于，所述補給泵控制裝置、循環泵控制裝置和聯動裝置為繼電器開關。

3.如權利要求2所述的濕法蝕刻裝置，其特征在于，所述繼電器開關包括電磁線圈、連接于電磁線圈上的接收端、與接收端對應的控制端和位于控制端上受電磁線圈吸引將接收端和控制端連通的活動金屬彈片，所述電磁線圈通電后產生磁性將金屬彈片吸引到電磁線圈上，使得接收端和控制端連通，繼電器開關閉合。

4.如權利要求1所述的濕法蝕刻裝置，其特征在于，所述電壓信號為24V電壓信號。

5.如權利要求1所述的濕法蝕刻裝置，其特征在于，所述控制信號為5V的控制電壓。