[發(fā)明專利]聚甲基丙烯酸甲酯－TiO2雜化材料的制備及微細圖形制作

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710018907.0
• 申請日: 2007-10-19
• 公開（公告）號: CN101174088A
• 公開（公告）日: 2008-05-07
• 發(fā)明（設計）人: 段宗范;趙高揚;馬介淵;劉東杰
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: G03F7/028
• 分類號: G03F7/028;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/00;C08F120/14;C08F2/50;C08K3/22
• 代理公司: 西安弘理專利事務所
• 代理人: 羅笛

1.一種具有紫外感光特性的聚甲基丙烯酸甲酯-TiO₂有機無機雜化材料的制備方法，其特征在于，該方法按以下步驟進行：

步驟1，制備組份a-TiO₂感光溶膠：將苯酰丙酮加入無水乙醇中攪拌使其完全溶解，然后添加乙酰丙酮和鈦酸丁酯，其中苯酰丙酮，乙酰丙酮，鈦酸丁酯和乙醇的物質量之比為0.6～1.0∶0.2～0.4∶1.0∶8～20，密封后在磁力攪拌器上攪拌2～5小時，即得到TiO₂感光溶膠，

選取組份b為可聚合單體：甲基丙烯酸甲酯，

選取組份c為引發(fā)劑：過氧化二苯甲酰，

選取組份d為溶劑：氯苯；

步驟2，將上步選取好的組份a、b、c混合攪拌，其中a與b的質量比為1∶0.75～1∶2，c與b的質量比為1∶150～1∶75，攪拌升溫至75℃～85℃，反應2～3小時，在繼續(xù)攪拌下加入組份d，其加入量不超過組份總質量的20％wt，冷卻至常溫，即得到聚甲基丙烯酸甲酯-TiO₂有機無機雜化材料。

2.一種在權利要求1所述的有機無機雜化材料薄膜上制作微細圖形的方法，其特征在于，該方法按以下步驟進行：

步驟1、按照權利要求1所述的方法制備得到具有紫外感光特性的聚甲基丙烯酸甲酯-TiO₂有機無機雜化材料，在其中加入不超過各組份總質量的30％wt的氯仿，然后在超聲波清洗儀中超聲分散10～20分鐘，制得雜化溶膠；

步驟2、將清潔的單晶硅片浸入步驟1制得的雜化溶膠中，采用浸漬提拉法在單晶硅片上拉制薄膜；

步驟3、將上述拉制的膜在常溫中放置10～20分鐘，待其干燥，將具有圖形的掩模版與薄膜直接接觸進行曝光，曝光時間不少于15分鐘；

步驟4、將曝光后的薄膜在溶洗劑中溶洗3～5秒，即完成微細圖形的制作。

3.按照權利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟2中，采用浸漬提拉法的提拉速度為0.005～0.025cm/s。

4.按照權利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟3中，曝光光源采用主波長為365nm、功率為250W的高壓汞燈。

5.按照權利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟4中，溶洗劑為乙醇和異丙醇的混合劑，乙醇和異丙醇的體積比為1.0∶1.0。