[發明專利]橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法

無效

• 申請號: 200710018571.8
• 申請日: 2007-09-03
• 公開（公告）號: CN101122456A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: 趙葆常;楊建峰;薛彬;喬衛東;陳立武;賀應紅;常凌穎;張健
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G02B7/18
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司
• 代理人: 徐平

技術領域

本發明涉及一種橫向剪切干涉儀的膠合、檢測方法。

背景技術

橫向剪切干涉儀是各類空間調制型干涉光譜儀及干涉成像光譜儀中的核心部件，橫向剪切干涉儀的橫向剪切量，是由兩棱鏡的膠合面半透半反性以及不完全對稱性產生的。由于橫向剪切干涉儀的橫向剪切量值決定了干涉儀的最大光程差OPD_max，而最大光程差又決定了光譜分辨率δσ，

δσ=12·OPDmax]]>

當實際膠合、檢測的橫向剪切量小于設計值時，儀器將達不到設計要求的光譜分辨率。當實際膠合、檢測的橫向剪切量大于設計值時，由于它是一個周期函數，會造成復原光譜相互混疊。所以，干涉儀膠合的核心技術是使實際膠合、檢測的橫向剪切量盡可能接近設計值。

橫向剪切干涉儀的傳統膠合方法主要依賴加工精度和裝配人員的經驗，橫向剪切量的準確度控制困難。

發明內容

本發明的目的在于提供一種橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，以解決了背景技術中橫向剪切干涉儀的橫向剪切量難以準確控制的技術問題。

本發明的技術解決方案如下：

一種橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，該方法包括以下實現步驟：

(i)在待膠合橫向剪切干涉儀401的上、下兩棱鏡的膠合面上均勻地涂覆光學膠，然后豎直放置于精密調整平臺403上的高精度光學平板402上；

(ii)由激光器1輸出的激光經散射板2散射，經平行光管3擴束后，形成均勻平行光，照在待膠合橫向剪切干涉儀401上；

(iii)用數碼相機5接收待膠合橫向剪切干涉儀401出射端形成的干涉條紋，并在計算機6的顯示屏上實時顯示；

(iv)理論計算N₀個干涉條紋占數碼相機5的CCD像元數M₀：

M0=f′Δ·d·N0·λ]]>

其中，λ為激光器1輸出的激光波長，f′為數碼相機5的焦距，d為CCD像元尺寸，Δ為設計要求的橫向剪切量；

(v)使被膠合的、尚未固化的兩棱鏡作微量相對移動，讀取N₀個干涉條紋占數碼相機5的CCD像元數M；直到CCD像元數M為M₀時，停止移動，使兩棱鏡定位；

(vi)固化兩棱鏡間的膠。

上述平行光管3以采用為帶十字絲的平行光管為宜，所述平行光管3的十字絲豎線和橫線分別呈大地垂直及水平狀態；所述高精度光學平板402的上表面呈大地水平狀態；所述數碼相機5的光軸經標準干涉儀定位、且與平行光管3經標準干涉儀折轉后的光軸重合；所述數碼相機5的列像元呈大地垂直狀態，所述數碼相機5的行像元呈大地水平狀態。

上述設計要求的橫向剪切量Δ、激光器1輸出的激光波長λ、數碼相機5的焦距f′及CCD像元尺寸d，以滿足下列條件為佳：

f′·λ＝ψΔ·d。

所述ψ的取值范圍為5-6。

上述N₀個干涉條紋占數碼相機5的CCD像元數M₀中，干涉條紋數N₀及CCD像元數M₀，以滿足下列條件為佳：

M₀≥120；M₀/N₀為5～6。

數碼相機5的焦距f的標定不確定度δf、激光器1的激光波長λ的標定不確定度δλ以及CCD像元尺寸d的標定不確定度δd綜合誤差控制在5‰以內，剪切量的誤差小于1％，滿足條紋信噪比。