[發(fā)明專利]橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710018571.8
• 申請日: 2007-09-03
• 公開（公告）號: CN101122456A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙葆常;楊建峰;薛彬;喬衛(wèi)東;陳立武;賀應(yīng)紅;常凌穎;張健
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G02B7/18
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司
• 代理人: 徐平

1.一種橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，該方法包括以下實現(xiàn)步驟：

(i)在待膠合橫向剪切干涉儀(401)的上、下兩棱鏡的膠合面上均勻地涂覆光學膠，然后豎直放置于調(diào)整平臺(403)上的光學平板(402)上；

(ii)由激光器(1)輸出的激光經(jīng)散射板(2)散射，經(jīng)平行光管(3)擴束后，形成均勻平行光，照在待膠合橫向剪切干涉儀(401)上；

(iii)用數(shù)碼相機(5)接收待膠合橫向剪切干涉儀(401)出射端形成的干涉條紋，并在計算機(6)的顯示屏上實時顯示；

(iv)理論計算N₀個干涉條紋占數(shù)碼相機(5)的CCD像元數(shù)M₀：

M0=f′Δ·d·N0·λ]]>

其中，λ為激光器(1)輸出的激光波長，f′為數(shù)碼相機(5)的焦距，d為CCD像元尺寸，Δ為設(shè)計要求的橫向剪切量；

(v)使被膠合的、尚未固化的兩棱鏡作微量相對移動，讀取N₀個干涉條紋占數(shù)碼相機(5)的CCD像元數(shù)M；直到CCD像元數(shù)M為M₀時，停止移動，使兩棱鏡定位；

(vi)固化兩棱鏡間的膠。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，其特征在于：所述的平行光管(3)為帶十字絲的平行光管，所述平行光管(3)的十字絲豎線和橫線分別呈大地垂直及水平狀態(tài)；所述光學平板(402)的上表面呈大地水平狀態(tài)；所述數(shù)碼相機(5)的光軸經(jīng)標準干涉儀定位、且與平行光管(3)經(jīng)標準干涉儀折轉(zhuǎn)后的光軸重合；所述數(shù)碼相機(5)的列像元呈大地垂直狀態(tài)，所述數(shù)碼相機(5)的行像元呈大地水平狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，其特征在于：所述的設(shè)計要求的橫向剪切量Δ、激光器(1)輸出的激光波長λ、數(shù)碼相機(5)的焦距f′及CCD像元尺寸d滿足下列條件：

f′·λ＝ψΔ·d。

所述ψ的取值范圍為5-6。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，其特征在于，所述N₀個干涉條紋占數(shù)碼相機(5)的CCD像元數(shù)M₀中，干涉條紋數(shù)N₀及CCD像元數(shù)M₀滿足下列條件：

M₀≥120，

M₀/N₀為5～6。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，其特征在于：所述的激光器(1)為氣體激光器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，其特征在于：所述的光學膠為紫外光敏膠，所述固化兩棱鏡間的膠是用紫外光照射實現(xiàn)固化。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的橫向剪切干涉儀的膠合檢測方法，其特征在于：所述的調(diào)整平臺(403)是具有三個平移和三個旋轉(zhuǎn)自由度的調(diào)整平臺。