[發(fā)明專利]一種制備納米材料的真空管式爐

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710017880.3
• 申請日: 2007-05-18
• 公開（公告）號: CN101091893A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王發(fā)展;原思聰
• 申請（專利權(quán)）人: 西安建筑科技大學(xué)
• 主分類號: B01J3/00
• 分類號: B01J3/00;C30B35/00;C30B23/00;C30B25/08;C30B29/62
• 代理公司: 西安西達(dá)專利代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 第五思軍

1、一種制備納米材料的真空管式爐，它包括密封的真空室(2)，所述真空室(2)設(shè)置在爐體(1)內(nèi)，所述真空室(2)設(shè)有用于輸送源材料蒸氣的載氣(11)和用于與源材料蒸氣反應(yīng)的載氣(12)，真空室(2)內(nèi)氣流下游處設(shè)置有襯底(7)，其特征是：該真空室(2)連接有至少一個能控制和調(diào)節(jié)源材料蒸發(fā)速率的源材料蒸發(fā)器(16)，所述源材料蒸發(fā)器(16)連接在真空室(2)垂直于氣流方向的一端。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備納米材料的真空管式爐，其特征是：所述源材料蒸發(fā)器(16)包括端蓋(20)、導(dǎo)線(21)、套筒(22)、密封材料(25)、蒸發(fā)套(26)、電熱絲(27)；所述套筒(22)的一端插入所述蒸發(fā)套(26)中，套筒(22)的另一端連接端蓋(20)，導(dǎo)線(21)穿過端蓋(20)和套筒(22)與蒸發(fā)套(26)內(nèi)的電熱絲(27)相連，在所述蒸發(fā)套(26)上設(shè)有圓形開口(28)。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備納米材料的真空管式爐，其特征是：所述源材料蒸發(fā)器(16)通過密封端頭(3)與真空室(2)連接。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備納米材料的真空管式爐，其特征是：所述真空室(2)設(shè)有磁用推桿(5)。

5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備納米材料的真空管式爐，其特征是：所述磁用推桿(5)通過密封端頭(3)與真空室(2)磁用推桿(5)相連。

6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備納米材料的真空管式爐，其特征是：所述真空室(2)沿氣流方向的一端通過密封端頭(3)連接有載氣系統(tǒng)(11、12)。

7、根據(jù)權(quán)利要求3或5或6所述的制備納米材料的真空管式爐，其特征是：所述密封端頭(3)連有冷卻水系統(tǒng)(10)。

8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備納米材料的真空管式爐，其特征是：所述密封端頭(3)與真空室(2)之間設(shè)有O型密封圈(9)。

9、根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備納米材料的真空管式爐，其特征是：所述真空室(2)設(shè)有熱電偶(17)。