[發明專利]一種在SiC襯底上制備的發光二極管無效
| 申請號: | 200710014444.0 | 申請日: | 2007-05-15 |
| 公開(公告)號: | CN101060150A | 公開(公告)日: | 2007-10-24 |
| 發明(設計)人: | 徐現剛;寧麗娜;李樹強;胡小波;蔣民華 | 申請(專利權)人: | 山東大學 |
| 主分類號: | H01L33/00 | 分類號: | H01L33/00 |
| 代理公司: | 濟南圣達專利商標事務所 | 代理人: | 王書剛 |
| 地址: | 250061山*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 sic 襯底 制備 發光二極管 | ||
1.一種在SiC襯底上制備的發光二極管,其結構自上而下依次包括p型AlInGaN層、發光層、n型AlInGaN層和襯底,在p型AlInGaN層設有正極,在n型AlInGaN層設有負極,其特征在于:襯底為透明的SiC單晶晶片,該襯底在可見光范圍內是無色透明的,SiC單晶晶片的背景載流子濃度小于1×1016個/cm3,電阻率大于103Ω.cm。
2.根據權利要求1所述的在SiC襯底上制備的發光二極管,其特征在于:所述透明SiC單晶襯底的底面上設有金屬反射層。
3.根據權利要求1所述的在SiC襯底上制備的發光二極管,其特征在于:所述透明SiC單晶襯底是6H-SiC或者4H-SiC多型。
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