[發(fā)明專(zhuān)利]一種連續(xù)生產(chǎn)多晶硅錠的定向凝固方法及其裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710008984.8 | 申請(qǐng)日： | 2007-05-16 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101307487A | 公開(kāi)（公告）日： | 2008-11-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 洪永強(qiáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 佳科太陽(yáng)能硅（廈門(mén)）有限公司;廈門(mén)大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B29/06 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 廈門(mén)南強(qiáng)之路專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人： | 馬應(yīng)森 |
| 地址： | 361021福建省*** | 國(guó)省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 連續(xù)生產(chǎn) 多晶 定向 凝固 方法 及其 裝置 | ||
1.一種連續(xù)生產(chǎn)多晶硅錠的定向凝固方法，其特征在于包括以下步驟：
1)將空石墨模具按軸向空間序列排列，并由爐車(chē)帶動(dòng)同步前移，空石墨模具在預(yù)熱區(qū)逐步預(yù)熱，升溫至1200～1600℃；
2)經(jīng)熔融精煉的液態(tài)硅從爐膛高溫區(qū)的爐頂加料口倒入預(yù)熱后的空石墨模具內(nèi)，爐膛高溫區(qū)的溫度為1400～1600℃；
3)裝有液態(tài)硅的石墨模具在爐膛高溫區(qū)保溫2～8h后進(jìn)入中溫區(qū)；
4)液態(tài)硅在石墨模具中經(jīng)過(guò)爐膛的高溫區(qū)到中溫區(qū)的時(shí)間為10～30h，液態(tài)硅逐步定向凝固，爐膛中溫區(qū)的溫度為1100～1400℃；
5)凝固硅在石墨模具中經(jīng)過(guò)爐膛低溫區(qū)的時(shí)間為10～20h，溫度逐步降溫到600～1000℃，爐膛低溫區(qū)的溫度為600～1100℃；
6)凝固硅在石墨模具中在回轉(zhuǎn)軌道護(hù)罩下逐步冷卻到室溫，獲得定向凝固的多晶硅錠。
2.如權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)生產(chǎn)多晶硅錠的定向凝固方法，其特征在于所述的空石墨模具預(yù)先經(jīng)抗氧化處理。
3.如權(quán)利要求2所述的一種連續(xù)生產(chǎn)多晶硅錠的定向凝固方法，其特征在于所述的抗氧化處理是指在空石墨模具的內(nèi)表面和外表面噴涂二氮化硅或氮化硼，或在空石墨模具的內(nèi)表面噴涂二氮化硅，在外表面噴涂氮化硼，或在空石墨模具的內(nèi)表面噴涂氮化硼，在外表面噴涂二氮化硅。
4.連續(xù)生產(chǎn)多晶硅錠的定向凝固連續(xù)軌道爐，其特征在于設(shè)有爐體、爐膛、爐車(chē)軌道、爐車(chē)、前輔助小車(chē)、后輔助小車(chē)、回轉(zhuǎn)軌道、推進(jìn)裝置、供電和溫控系統(tǒng)，爐體為分段結(jié)構(gòu)，爐膛由爐車(chē)的上方和爐體構(gòu)成，爐膛內(nèi)沿軸向設(shè)置預(yù)熱區(qū)、高溫區(qū)、中溫區(qū)和低溫區(qū)；爐膛高溫區(qū)的爐頂設(shè)置液態(tài)硅的加料口；爐車(chē)設(shè)于爐膛下方，爐車(chē)用于裝載石墨模具；爐車(chē)軌道設(shè)于爐車(chē)下方，爐車(chē)在軌道上行駛；前輔助小車(chē)設(shè)于爐膛入口前方，用于輔助將爐車(chē)從回轉(zhuǎn)軸道上轉(zhuǎn)移到爐膛入口；后輔助小車(chē)設(shè)于爐膛出口后方，用于輔助將爐車(chē)從爐膛出口轉(zhuǎn)移到回轉(zhuǎn)軸道上；回轉(zhuǎn)軌道設(shè)于爐體的側(cè)面，用于將爐車(chē)從爐膛的出口轉(zhuǎn)移到爐膛入口；推進(jìn)裝置可采用液壓或機(jī)械式推進(jìn)裝置，設(shè)于爐膛入口前方，用于推動(dòng)爐車(chē)前進(jìn)，控制前進(jìn)速度；供電和溫控系統(tǒng)設(shè)于爐體外。
5.如權(quán)利要求4所述的連續(xù)生產(chǎn)多晶硅錠的定向凝固連續(xù)軌道爐，其特征在于所述的加料口為引導(dǎo)式嵌入型加料口。
6.如權(quán)利要求4或5所述的連續(xù)生產(chǎn)多晶硅錠的定向凝固連續(xù)軌道爐，其特征在于加料口設(shè)加料口外套，加料口外套與爐體固定。
7.如權(quán)利要求4所述的連續(xù)生產(chǎn)多晶硅錠的定向凝固連續(xù)軌道爐，其特征在于所述的爐膛出口處的一段回轉(zhuǎn)軌道上設(shè)回轉(zhuǎn)軌道護(hù)罩。
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