[發明專利]鋁類金屬膜及鉬類金屬膜的層疊膜用蝕刻液無效
| 申請號： | 200710004020.6 | 申請日： | 2007-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN101003902A | 公開（公告）日： | 2007-07-25 |
| 發明（設計）人： | 清水壽和 | 申請（專利權）人： | 關東化學株式會社 |
| 主分類號： | C23F1/16 | 分類號： | C23F1/16;C23F1/20;C23F1/26 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 陳建全 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬膜 層疊 蝕刻 | ||
【說明書】：
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