[發(fā)明專利]鋁類金屬膜及鉬類金屬膜的層疊膜用蝕刻液無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710004020.6 | 申請(qǐng)日： | 2007-01-19 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101003902A | 公開(kāi)（公告）日： | 2007-07-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 清水壽和 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 關(guān)東化學(xué)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C23F1/16 | 分類號(hào)： | C23F1/16;C23F1/20;C23F1/26 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人： | 陳建全 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金屬膜 層疊 蝕刻 | ||
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