[發明專利]拋光組合物和拋光方法

無效

• 申請號: 200710001877.2
• 申請日: 2007-02-02
• 公開（公告）號: CN101235253A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發明（設計）人: 山田修平
• 申請（專利權）人: 福吉米株式會社
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02;C09G1/14;B24B29/00;H01L21/304
• 代理公司: 上海恩田旭誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 尹洪波

1.?一種拋光組合物，其特征在于，所述拋光組合物包括：

聚氧乙烯失水山梨醇單脂肪酸酯；

二氧化硅；

水溶性纖維素；

堿性化合物；以及

水，

其中所述拋光組合物中所述聚氧乙烯失水山梨醇單脂肪酸酯的含量低于0.0025％(質量)。

2.?如權利要求1所述的拋光組合物，

其特征在于，所述拋光組合物中的所述聚氧乙烯失水山梨醇單脂肪酸酯的含量不超過0.0015％(質量)。

3.?如權利要求1所述的拋光組合物，

其特征在于，所述聚氧乙烯失水山梨醇單脂肪酸酯的HLB值為8至18。

4.?如權利要求3所述的拋光組合物，

其特征在于，所述聚氧乙烯失水山梨醇單脂肪酸酯的所述HLB值為14至17。

5.?如權利要求1所述的拋光組合物，

其特征在于，所述二氧化硅為硅溶膠或氣相法二氧化硅。

6.?如權利要求1所述的拋光組合物，

其特征在于，所述拋光組合物中所述二氧化硅的含量不高于2.5％(質量)。

7.?如權利要求1所述的拋光組合物，

其特征在于，所述水溶性纖維素是烷基碳數為1至4的羥烷基纖維素或羧烷基纖維素。

8.?如權利要求7所述的拋光組合物，

其特征在于，所述水溶性纖維素是羥乙基纖維素、羥丙基纖維素或羧甲基纖維素。

9.?如權利要求1所述的拋光組合物，

其特征在于，所述水溶性纖維素的粘度平均分子量為100,000至3,000,000。

10.?如權利要求1所述的拋光組合物，

其特征在于，所述拋光組合物中的所述水溶性纖維素的含量不高于0.15％(質量)。

11.?如權利要求1所述的拋光組合物，

其特征在于，所述堿性化合物為選自下組的至少一種：銨、銨鹽、堿金屬氫氧化物、堿金屬鹽、和四烷基氫氧化銨。

12.?如權利要求11所述的拋光組合物，

其特征在于，所述堿性化合物為選自下組的至少一種：銨、氫氧化鉀、氫氧化鈉、四甲基氫氧化銨、和四乙基氫氧化銨。

13.?如權利要求11所述的拋光組合物，

其特征在于，所述拋光組合物中的堿性化合物的含量不超過0.5％(質量)。

14.?如權利要求1至13中的任一項所述的拋光組合物，

其特征在于，所述拋光組合物用于硅片的最終拋光。

15.?一種拋光硅片的方法，其特征在于，使用如權利要求1至13中的任一項所述的拋光組合物對硅片進行最終拋光。