[發明專利]放電表面處理用電極及其制造方法

有效

• 申請號: 200680056811.7
• 申請日: 2006-12-27
• 公開（公告）號: CN101595246A
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發明（設計）人: 中野善和;荒木健;竹井夛賀子;久保一樹
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: C23C26/00
• 分類號: C23C26/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 金春實

1.一種放電表面處理用電極的制造方法，其特征在于包括：

對由金屬粉末和絕緣性粉末中的至少一種構成的第1電極用材料 與由把導電性樹脂溶解或分散到溶劑中得到的導電性有機結合材料構 成的第2電極用材料進行混煉，制作漿液的混煉工序；

使上述漿液成形而形成成形體的成形工序；以及

在上述導電性有機結合材料開始熱分解的熱分解開始溫度以下 的溫度下，使上述成形體干燥的干燥工序，

其中，上述溶劑相對于上述漿液的重量的重量比率為 2wt％～50wt％，

相對于上述第1電極用材料的體積，上述導電性樹脂的體積的體 積比率為5％以上。

2.如權利要求1所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特征 在于：

在上述混煉工序中，向上述導電性有機結合材料進一步添加相對 于上述導電性有機結合材料的總重量為1wt％～10wt％的極性溶劑。

3.如權利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特征 在于：

上述極性溶劑是從由乙二醇、二甲基亞砜和二甲基乙酰胺構成的 組中選擇的至少一種。

4.如權利要求1所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特征 在于：

上述第1電極用材料的粉末的形狀為大致球狀。

5.如權利要求1所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特征 在于：

在上述成形工序中，對上述漿液進行擠壓成形而形成上述成形 體。

6.如權利要求1所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特征 在于：

在上述混煉工序中，添加相對于第1電極用材料的總重量為 1wt％～10wt％的有機結合材料。