[發明專利]放電表面處理用電極及其制造方法

有效

• 申請號: 200680056811.7
• 申請日: 2006-12-27
• 公開（公告）號: CN101595246A
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發明（設計）人: 中野善和;荒木健;竹井夛賀子;久保一樹
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: C23C26/00
• 分類號: C23C26/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 金春實

技術領域

本發明涉及在放電表面處理中使用的放電表面處理用電極及其制造方法，在該放電表面處理中，在具有導電性的電極和被加工物之間產生脈沖狀的放電，利用該脈沖狀的放電能在被加工物表面上形成由電極材料或電極材料利用放電能發生反應得到的物質構成的覆蓋膜。?

背景技術

在現有技術中，在利用金屬粉末的擠壓成形制造低電阻的成形體時，把金屬粉末和有機結合材料混合、混煉和擠壓成形后，進行用來分解除去有機結合材料和使金屬粉末擴散結合的燒結處理。例如，在堆焊用燒結體材料的制造方法中，把由金屬或合金構成的粉末與有機結合材料或無機結合材料混合，用擠壓法成形后，進行燒結(例如，參照專利文獻1)。?

在用這樣的現有的擠壓成形法制造放電表面處理用電極時，為了實現放電表面處理用電極的低電阻化，必須利用燒結進行粒子的擴散結合。?

<專利文獻1>日本特開2000-153392號公報?

發明內容

(發明要解決的問題)?

但是，在上述的現有技術中，由于具有燒結工序而存在制造成本高的問題。另外，在上述的現有技術中，存在燒結后的制品(成形體)上產生裂紋的問題。?

本發明正是鑒于上述情況而提出的，其目的在于獲得可以廉價地?提供高品質的放電表面處理用電極的放電表面處理用電極及其制造方法。?

(用來解決問題的手段)?

為了解決上述問題，實現上述目的，根據本發明的放電表面處理用電極的制造方法的特征在于包括：對由金屬粉末和絕緣性粉末中的至少一種構成的第1電極用材料與由把導電性樹脂溶解或分散到溶劑中得到的導電性有機結合材料構成的第2電極用材料進行混煉，制作漿液的混煉工序；使漿液成形而形成成形體的成形工序；以及在導電性有機結合材料開始熱分解的熱分解開始溫度以下的溫度下，使成形體干燥的干燥工序。?

(發明的效果)?

根據本發明的放電表面處理用電極的制造方法，通過用導電性有機結合材料作為結合材料，而具有無需進行燒結就能夠以低成本制作具有低電阻的放電表面處理用電極的效果，且具有能夠制作不會發生燒結導致的裂紋的高品質的放電表面處理用電極的效果。?

附圖說明

圖1是說明根據本發明的放電表面處理用電極的制造方法中的處理步驟的概要的流程圖。?

圖2是說明實施方式1中的放電表面處理用電極的制造方法中使用的混煉擠壓成形機的概略構成的剖面圖。?

圖3-1是展示制作放電表面處理用電極時的漿液中包含的溶劑量的重量比率與放電表面處理用電極的電阻率的關系的特性圖。?

圖3-2是示出圖3-1所示的測定結果的數值數據的圖。?

圖4是用掃描型電子顯微鏡觀察根據實施方式1的放電表面處理用電極的內部結構時的示意圖。?

圖5是示出放電表面處理裝置的概略構成的示意圖。?

圖6-1是示出放電表面處理時的放電脈沖條件的一例的圖，是示出放電時的電極與工件之間施加的電壓波形的圖。?

圖6-2是示出放電表面處理時的放電脈沖條件的一例的圖，是示出放電時流過的電流的電流波形的圖。?

圖7-1是示出實施方式2中的實施例和比較例的放電表面處理用電極的制作條件和電阻率的圖。?

圖7-2是示出實施方式2中的實施例和比較例的放電表面處理用電極的制作條件和電阻率的圖。?

圖8-1是示出實施方式3中的實施例和比較例的放電表面處理用電極的制作條件和電阻率的圖。?

圖8-2是示出實施方式3中的實施例和比較例的放電表面處理用電極的制作條件和電阻率的圖。?

圖8-3是示出實施方式3中的實施例和比較例的放電表面處理用電極的制作條件和電阻率的圖。?

圖9是示意性地示出根據實施方式4的放電表面處理用電極中的電阻率的測定位置的圖。?

圖10是展示相對于鎢鉻鈷合金(stellite)混合粉末的總重量的大致球狀的鎢鉻鈷合金粉末的混合比率與放電表面處理用電極的電阻率的關系的特性圖。?

圖11是展示相對于粉末的聚乙烯醇的添加量與放電表面處理用電極的縱彈性模量和電阻率的關系的特性圖。?

圖12是示出圖11所示的測定結果的數值數據的圖。?

(附圖標記說明)?