[發明專利]測試托盤及具備該測試托盤的電子元件測試裝置

無效

• 申請號: 200680055826.1
• 申請日: 2006-09-15
• 公開（公告）號: CN101512356A
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 相澤·光范;伊藤·明彥
• 申請（專利權）人: 株式會社愛德萬測試
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司
• 代理人: 高占元

技術領域

[0001]本發明涉及測試托盤及具備該測試托盤的電子元件測試裝置，在使半導體集成電路器件等各種電子元件(以下，一般地稱為IC器件)的輸入輸出端子與測試頭的接觸部相電接觸來測試IC器件而使用的電子元件測試裝置中，該測試托盤在收容多個IC器件的狀態下在電子元件測試裝置內搬運。

背景技術

[0002]在IC器件等電子元件的制造過程中，為測試封裝狀態下的IC器件的性能和功能而使用電子元件測試裝置。

[0003]構成電子元件測試裝置的處理機(Handler)設有裝載部、箱室部和卸載部。

[0004]處理機的裝載部將IC器件從收容測試前的IC器件和測試完的IC器件的托盤(以下稱專用托盤)轉裝到在電子元件測試裝置內循環搬運的托盤(以下稱測試托盤)上，并將該測試托盤搬入箱室部。

[0005]然后，在處理機的箱室部中，在IC器件上施加高溫或低溫的熱應力后，將IC器件按壓在測試頭上，使各IC器件的輸入輸出端子與測試頭的接觸部電接觸，在電子元件測試裝置本體(以下稱測試機)上進行測試。

[0006]然后，將裝載了測試完成的IC器件的測試托盤從箱室部搬到卸載部，在卸載部中將IC器件按測試結果換裝到專用托盤上，并進行合格品和不合格品的分類。

[0007]電子元件測試裝置中，為了進一步提高通過量，希望增大同時測試數(電子元件測試裝置中可同時測試的IC器件數)，例如同時測試數被要求增加到256個、512個、1024個。

[0008]如上述，IC器件測試在保持裝于測試托盤的狀態下進行，與同時測試數的增加相適應，必須增加每個測試托盤中可裝載的IC器件的數量。

[0009]但是，若為適應同時測試數的增加而僅增加測試托盤的可裝載數，就會簡單地在平面上擴大測試托盤。為此，對于處理機而言，需要將裝載部、箱室部和卸載部加大，以能夠通過測試托盤，結果，招致電子元件測試裝置總體的大型化。

發明內容

[0010]本發明旨在提供可謀求縮小的測試托盤以及設有該測試托盤的電子元件測試裝置。

[0011]為達成上述目的，根據本發明提供的測試托盤具備可收容上述被測試電子元件的多個插入件和保持上述插入件的框架構件，在用以測試被測試電子元件的電子元件測試裝置內，該測試托盤在收容多個上述被測試電子元件的狀態下搬運，上述插入件在與上述測試托盤的主要面(main?surface)基本垂直的方向上置放在上述框架構件上(參見權利要求1)。

[0012]本發明中，將插入件在與測試托盤的主要面基本垂直的方向上配置在框架構件上。從而，將插入件和框架構件立體地疊置，由于使插入件和框架構件重疊放置，能夠將測試托盤縮小。

[0013]對于上述發明并無特別限定，但最好這樣：上述框架構件和上述插入件沿與上述測試托盤的主要面基本垂直的方向相互錯開地配置。

[0014]對于上述發明并無特別限定，但最好這樣：上述插入件的一部分或全部相對于上述框架構件沿與上述測試托盤的主要面基本垂直的方向突出。

[0015]對于上述發明并無特別限定，但最好這樣：上述插入件配置成沿與上述測試托盤的主要面基本垂直的方向疊置在上述框架構件上(參見權利要求2)。

[0016]對于上述發明并無特別限定，但最好這樣：上述框架構件和上述插入件配置成沿與上述測試托盤的主要面基本平行的第2方向相互疊合。

[0017]對于上述發明并無特別限定，但最好這樣：上述多個插入件沿與上述測試托盤的主要面基本平行的方向不隔著上述框架構件而相互鄰接配置(參見權利要求3)。

[0018]對于上述發明并無特別限定，但最好這樣：上述框架構件設有構成上述框架構件的外周的框架主體和在上述框架主體內架設的橫條，上述插入件設有沿與上述測試托盤的主要面基本垂直的方向從上述框架構件側插入與上述測試托盤相對接近的部件的第1孔和沿與上述測試托盤的主要面基本垂直的方向從上述插入件側插入與上述測試托盤相對接近的部件的第2孔，上述第1孔配置成在上述框架主體和上述橫條之間或在上述橫條彼此之間開口，上述第2孔配置成不與上述第1孔相干涉(參見權利要求4)。

[0019]對于上述發明并無特別限定，但最好這樣：用上述插入件的角部將上述插入件安裝在上述框架構件上，還設有使上述插入件在上述框架構件可游動保持的安裝構件，將鄰接的多個上述插入件通過一個安裝構件集中保持在上述框架構件上(參見權利要求5)。