[發明專利]灰塵除去裝置

有效

• 申請號: 200680050456.2
• 申請日: 2006-06-09
• 公開（公告）號: CN101356017A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 中田厚紀;大山純志
• 申請（專利權）人: 尼柯斯有限公司
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B1/04;H01L21/304
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

技術領域

本發明涉及一種將附于玻璃基板等工件的灰塵除去的灰塵除去裝置。

背景技術

目前，已知有一種灰塵除去裝置，其通過將旋轉刷與被搬送的工件接觸，以刮擦的方式除去附于工件的灰塵(特開2003-334499號公報以及特開2005-211722號公報)。特開2005-211722號公報中記載的灰塵除去裝置使旋轉刷通過旋轉專用電動機圍繞其軸心旋轉，同時使旋轉刷通過進退專用電動機沿其軸方向進退，從而提高灰塵的除去效果。作為使旋轉刷進退的機構，使用滑塊曲柄機構。

但是，在現有的灰塵除去裝置中，滑塊曲柄機構的設置空間較大，難以實現小型化。而且，由于設置有用于旋轉刷的旋轉以及進退的兩個專用電動機，從而使得裝置整體大型化，并且使得成本增加。

發明內容

本發明的目的在于提供一種灰塵除去裝置，其能夠有效地進行灰塵的除去，并能夠使裝置整體小型化以及使成本減少。

本發明的灰塵除去裝置包括：旋轉刷，用于除去附于工件的灰塵；工件搬送單元，用于沿著與所述旋轉刷的軸方向交叉的方向搬送所述工件；刷子旋轉單元，與所述工件搬送單元同步，使所述旋轉刷以其軸心為中心旋轉；刷子進退單元，與所述工件搬送單元同步，使所述旋轉刷沿其軸方向進退；以及電動機，作為所述刷子旋轉單元和所述刷子進退單元共同的驅動源。其中，所述刷子旋轉單元具有將所述電動機的動力傳遞給所述旋轉刷作為所述旋轉刷的旋轉運動的動力傳遞單元，所述刷子進退單元具有將所述電動機的動力轉換為所述旋轉刷的進退運動并傳遞給所述旋轉刷的動力傳遞單元。

根據這種構成，由于旋轉刷的旋轉和進退都使用一個電動機，因此與分別設置專用的電動機的情況相比，能夠使裝置整體小型化并使成本減少。

這里，作為工件的種類，例如包括：印刷配線板、液晶玻璃基板、柔性基板、陶瓷基板、塑料板、液晶顯示面板、真空盤、透鏡、導光板、薄膜、以及紙等。工件的外形形狀可以是矩形，也可以是例如晶片(稍候描述)的圓盤狀。

優選地，所述刷子進退單元的動力傳遞單元具有凸輪機構，所述凸輪機構包括：凸輪從動件；以及柱狀凸輪，所述柱狀凸輪具有導向所述凸輪從動件的凸輪部，同時通過所述電動機的動力進行旋轉。所述柱狀凸輪以與所述旋轉刷一體地同軸旋轉并且進退的方式連接于所述旋轉刷。所述凸輪從動件固定于不動的位置，使得當所述電動機旋轉時，在允許所述柱狀凸輪旋轉的同時將所述柱狀凸輪的旋轉轉換為所述柱狀凸輪的進退運動。

根據這種構成，當電動機旋轉時，旋轉刷和柱狀凸輪旋轉，同時柱狀凸輪通過凸輪從動件與旋轉刷一體地進退。這樣，通過這種簡單的機構(例如使用柱狀凸輪的凸輪機構)，能夠利用單一的電動機進行旋轉刷的旋轉和進退。而且，凸輪部可以是形成在柱狀凸輪的周圍表面上的槽，也可以是附于柱狀凸輪的周圍表面的突起。

優選地，本發明的灰塵除去裝置還包括：底座，用于將所述凸輪從動件固定在所述不動的位置；以及旋轉軸，用于將所述柱狀凸輪與所述旋轉刷連接，并且與所述柱狀凸輪和所述旋轉刷一體地旋轉并且進退。所述旋轉軸插通所述柱狀凸輪的內部并固定于所述柱狀凸輪的內部，并且所述旋轉軸的從所述柱狀凸輪的內部沿軸方向向外側突出的部分被可旋轉地并可進退地支撐在所述底座上。

根據這種構成，通過有效地利用固定凸輪從動件的底座，能夠可旋轉地并且可進退地支撐旋轉軸。而且，通過被支撐的旋轉軸，能夠可旋轉地支撐柱狀凸輪。

在這種情況下，優選的是所述旋轉軸包括相互同軸設置的兩個旋轉軸，并且所述兩個旋轉軸插通所述柱狀凸輪的內部并固定于所述柱狀凸輪的內部。

根據這種構成，由于旋轉軸包括兩個旋轉軸，從而能夠容易組裝旋轉軸、柱狀凸輪、以及旋轉刷。而且，由于兩個旋轉軸固定于柱狀凸輪的內部，從而能夠有效地利用柱狀凸輪作為連接兩個旋轉軸的聯軸器。

優選地，凸輪從動件具有銷釘狀。優選地，凸輪部被設定成使得所述柱狀凸輪的旋轉數與所述柱狀凸輪在進退方向的振幅數相同。優選地，柱狀凸輪由塑料制成，所述凸輪從動件由金屬制成。或者，柱狀凸輪和所述凸輪從動件由金屬制成。