[發明專利]灰塵除去裝置

有效

• 申請號: 200680050456.2
• 申請日: 2006-06-09
• 公開（公告）號: CN101356017A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 中田厚紀;大山純志
• 申請（專利權）人: 尼柯斯有限公司
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B1/04;H01L21/304
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

1.一種灰塵除去裝置，包括：

旋轉刷，用于除去附于工件的灰塵；

工件搬送單元，用于沿著與所述旋轉刷的軸方向交叉的方向搬送所述工件；

刷子旋轉單元，與所述工件搬送單元同步，使所述旋轉刷以其軸心為中心旋轉；

刷子進退單元，與所述工件搬送單元同步，使所述旋轉刷沿其軸方向進退；以及

電動機，作為所述刷子旋轉單元和所述刷子進退單元共同的驅動源，

其中，所述刷子旋轉單元具有將所述電動機的動力傳遞給所述旋轉刷作為所述旋轉刷的旋轉運動的動力傳遞單元，

所述刷子進退單元具有將所述電動機的動力轉換為所述旋轉刷的進退運動并傳遞給所述旋轉刷的動力傳遞單元，

所述刷子進退單元的動力傳遞單元具有凸輪機構，

所述凸輪機構包括：凸輪從動件；以及柱狀凸輪，所述柱狀凸輪具有導向所述凸輪從動件的凸輪部，同時通過所述電動機的動力進行旋轉，

所述柱狀凸輪以與所述旋轉刷一體地同軸旋轉并且進退的方式連接于所述旋轉刷，

所述凸輪從動件固定于不動的位置，使得當所述電動機旋轉時，在允許所述柱狀凸輪旋轉的同時將所述柱狀凸輪的旋轉轉換為所述柱狀凸輪的進退運動。

2.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，還包括：

底座，用于將所述凸輪從動件固定在所述不動的位置；以及

旋轉軸，用于將所述柱狀凸輪與所述旋轉刷連接，并且與所述柱狀凸輪和所述旋轉刷一體地旋轉并且進退，

其中，所述旋轉軸插通所述柱狀凸輪的內部并固定于所述柱狀凸輪的內部，并且所述旋轉軸的從所述柱狀凸輪的內部沿軸方向向外側突出的部分被可旋轉地并可進退地支撐在所述底座上。

3.根據權利要求2所述的灰塵除去裝置，其中，所述旋轉軸包括相互同軸設置的兩個旋轉軸，并且所述兩個旋轉軸插通所述柱狀凸輪的內部并固定于所述柱狀凸輪的內部。

4.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述凸輪從動件具有銷釘狀。

5.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述凸輪部被設定成使得所述柱狀凸輪的轉數與所述柱狀凸輪在進退方向的振幅數相同。

6.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述柱狀凸輪由塑料制成，所述凸輪從動件由金屬制成。

7.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述柱狀凸輪和所述凸輪從動件由金屬制成。

8.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述旋轉刷被構造成旋轉一次就進行一次進退方向的往復運動。

9.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述旋轉刷包括第一端部以及第二端部，其中，用于旋轉運動的動力被從所述刷子旋轉單元的動力傳遞單元輸入到所述第一端部，用于進退運動的動力被從所述刷子進退單元的動力傳遞單元輸入到所述第二端部。

10.根?據權利要求9所述的灰塵除去裝置，其中，所述第一端部和所述第二端部位于所述旋轉刷的軸心。

11.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述電動機具有與所述旋轉刷同軸的輸出軸。

12.根據權利要求11所述的灰塵除去裝置，其中，所述輸出軸通過所述刷子旋轉單元的動力傳遞單元連接于所述旋轉刷的軸心。

13.根據權利要求11所述的灰塵除去裝置，其中，所述刷子旋轉單元的動力傳遞單元包括：連接于所述輸出軸的主軸、與所述主軸一體形成的花鍵凸起、嵌合于所述花鍵凸起的花鍵軸、以及將所述花鍵軸與所述旋轉刷連接的聯軸器。

14.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述工件搬送單元沿著與所述旋轉刷的軸方向垂直的方向搬送所述工件。

15.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述旋轉刷被構成為能夠與所述工件接觸。

16.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，其中，所述旋轉刷具有由導電性纖維構成的植入部分，并且所述植入部分與所述工件的表面旋轉接觸。

17.根據權利要求1所述的灰塵除去裝置，還包括高度調整機構，所述高度調整機構被構造成根據所述工件的厚度來調整所述旋轉刷的高度。