[發明專利]樣品上標簽的定位方法

有效

• 申請號: 200680048500.6
• 申請日: 2006-12-22
• 公開（公告）號: CN101427138A
• 公開（公告）日: 2009-05-06
• 發明（設計）人: H·N·斯林格蘭德
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N33/58
• 分類號: G01N33/58;G01N21/64;G01N23/225
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 張軼東;韋欣華

1.一種分析樣品的方法，該方法包括：

·在樣品上預備大體上平坦的表面，

·使樣品暴露于含有標簽的標示試劑，由此將標簽引入樣品中，

·獲得一系列樣品圖像，每個圖像包括樣品的信息，通過使樣品 暴露于電子束或離子束可得到所述信息，

·獲得標簽在由此所得的每個圖像中的相對位置，以及

·由所得的相對位置得到標簽的相對位置的三維重構，

其特征在于：

·各個圖像在大體上相同的方向上顯示所述的樣品，以及

·從處于該一系列圖像的各連續圖像之間的樣品中除去表面層， 留下大體上平行于最初形成的平坦表面的新表面層。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述標簽是發光的標簽，所 述電子束或離子束是在樣品的整個表面上掃描的精細聚焦的電子束或 離子束，并且其中所述的信息包括與響應暴露于對電子束或離子束而 從所述標簽發出的光量成比例的信息。

3.根據權利要求2所述的方法，其中所述發光的標簽是無機納米 顆粒，所述納米顆粒包括摻雜有發光活化劑離子的主晶格，其起到了 所述納米顆粒發光中心的作用，并且其中獲得一種圖像，其包括檢測 由所述活化劑離子發出的光。

4.根據權利要求2所述的方法，其中所述發光的標簽是無機量子 點納米顆粒。

5.根據權利要求2所述的方法，其中所述發光的標簽是有機標 簽。

6.根據權利要求1所述的方法，其中所述標簽包括高Z材料。

7.根據權利要求6所述的方法，其中所述高Z材料包括金納米顆 粒。

8.根據權利要求7所述的方法，其中用銀或金增強所述的金納米 顆粒。

9.根據權利要求6-8中任一項所述的方法，其中獲得圖像包括 處理由顆粒探測器探測到的信號。

10.根據權利要求6-8中任一項所述的方法，其中獲得圖像包括 處理由X射線探測器探測到的信號。

11.根據權利要求1所述的方法，其中采用電子束或離子束除去一 個或多個表面層。

12.根據權利要求11所述的方法，其中所述電子束或離子束是精 細聚焦的束。

13.根據權利要求1所述的方法，其中利用電磁輻射束除去一個或 多個表面層。

14.根據權利要求1所述的方法，其中通過升華作用除去一個或多 個表面層。

15.根據權利要求1所述的方法，其中所述除去一個或多個表面層 是在顆粒光學儀器中原位進行的。

16.根據權利要求1所述的方法，其中標簽的上邊界是基于在一個 圖像中不存在標簽并且在接下來的圖像中存在標簽而確定的，以及標 簽的下邊界是基于一個圖像中存在標簽并且在接下來的圖像中不存在 標簽而確定的。