[發明專利]互連存在于襯底相對側的跡線的方法

有效

• 申請號: 200680046950.1
• 申請日: 2006-12-05
• 公開（公告）號: CN101331502A
• 公開（公告）日: 2008-12-24
• 發明（設計）人: A·C·M·范德文;R·F·J·P·羅哲勃姆
• 申請（專利權）人: MECO設備工程有限公司
• 主分類號: G06K19/077
• 分類號: G06K19/077
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 董莘

1.一種在存在于介質襯底的相對兩側的兩個導電跡線之間產生導 電連接的方法，所述方法包括下述步驟：

a提供襯底，在所述襯底的一側存在至少一個第一導電跡線，在 所述襯底的與所述一側相對的另一側存在至少一個第二導電跡線，

b形成一個穿過所述襯底，并且分別穿過第一跡線和第二跡線的 兩個相對部分的通孔，

c借助穿過其形成所述通孔的第一跡線和穿過其形成所述通孔的 第二跡線之間的通孔，產生導電連接，

其中，導電連接沿著通孔的孔壁延伸。

2.按照權利要求1所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個導 電跡線之間產生導電連接的方法，其中通過利用穿孔工具，穿孔形成 通孔。

3.按照權利要求2所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個導 電跡線之間產生導電連接的方法，其中通過所述通孔的穿孔，獲得所 述導電連接。

4.按照權利要求1、2或3所述的在存在于介質襯底的相對兩側 的兩個導電跡線之間產生導電連接的方法，包括步驟：

在電解槽中使導電材料從第一跡線經由所述通孔電解生長到第二 跡線，以實現步驟c。

5.按照權利要求4所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個導 電跡線之間產生導電連接的方法，其中陽極被設置在襯底的遠離第一 跡線的一側，并使第一跡線與陰極電接觸。

6.按照權利要求5所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個導 電跡線之間產生導電連接的方法，其中在襯底的存在第一跡線的一側 設置另一陽極。

7.按照權利要求5所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個導 電跡線之間產生導電連接的方法，其中只在介質襯底的遠離第一跡線 的一側設置一個陽極。

8.按照權利要求4所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個導 電跡線之間產生導電連接的方法，包括步驟：

在將在步驟c之后進行的步驟d中電解增大第二跡線的厚度的步 驟。

9.按照權利要求8所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個導 電跡線之間產生導電連接的方法，其中所述方法包括至少部分從襯底 除去第一跡線的步驟，該步驟將在步驟d之后進行。

10.按照權利要求5所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個 導電跡線之間產生導電連接的方法，其中陰極在電解槽中與第一跡線 接觸。

11.按照權利要求10所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個 導電跡線之間產生導電連接的方法，其中陰極在第一跡線上方滾動。

12.按照權利要求4所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個 導電跡線之間產生導電連接的方法，其中在步驟c中，使襯底通過電 解槽。

13.按照權利要求所述1的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個 導電跡線之間產生導電連接的方法，包括下述步驟：從滾輪展開襯底， 以便執行步驟a，使襯底的展開部分輸送通過電解槽，以便執行步驟c， 和在滾輪和電解槽之間的位置，在襯底中形成通孔，以便執行步驟b。

14.按照權利要求13所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個 導電跡線之間產生導電連接的方法，包括下述步驟：在襯底中形成通 孔的時候，暫時本地中斷襯底的展開部分的輸送。

15.按照權利要求1所述的在存在于介質襯底的相對兩側的兩個 導電跡線之間產生導電連接的方法，包括下述步驟：向所述襯底提供 至少兩個彼此電絕緣的第二導電跡線，以便執行步驟a，穿過一側的 同一條第一跡線和另一側的兩條第二跡線的兩個相對部分，在襯底中 形成兩個通孔，以便執行步驟b，和通過這兩個通孔，在一側的穿過 其形成這兩個通孔的第一跡線和另一側的穿過其形成相應兩個通孔的 兩條第二跡線之間實現兩個導電連接，以便執行步驟c。