[發(fā)明專利]沉積高品質(zhì)反射涂層的方法和設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680045503.4
• 申請日: 2006-10-11
• 公開（公告）號: CN101321708A
• 公開（公告）日: 2008-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: K·哈蒂格
• 申請（專利權(quán)）人: 卡迪奈爾鍍膜玻璃公司
• 主分類號: C03C17/36
• 分類號: C03C17/36;C03C17/00;C23C14/56
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 苗征;于輝

相關(guān)申請

本申請要求2006年4月5日提交的美國實用新型申請 No.11/398,345(“‘345申請”)以及2005年10月11日提交的美國臨時申請 No.60/725891的優(yōu)先權(quán)，而‘345申請要求2006年2月23日提交的美國 實用新型申請No.11/360,266的優(yōu)先權(quán)，它們的全部內(nèi)容并入本申請中作為 參考。本申請是‘345申請的部分繼續(xù)申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于玻璃和其它基底的薄膜涂層。特別的，本發(fā)明涉及反 射紅外輻射的低輻射涂層。還提供了沉積薄膜涂層的方法和設(shè)備。

背景技術(shù)

低輻射涂層在本領(lǐng)域中是公知的。通常，它們包括一層或兩層紅外反 射膜和兩層或更多層透明介電膜。一般為導(dǎo)電金屬(如銀、金或銅)的紅外反 射膜通過涂層減小了熱傳遞。介電膜用于在選擇的光譜區(qū)(太陽光的可見區(qū)) 抗紅外反射膜的反射，并用于控制涂層的其它性能和特性，例如顏色和耐 久性。其中通常使用的介電材料包括鋅、錫、銦、鉍和鈦的氧化物。

大多數(shù)可商購的低輻射涂層具有一個或兩個銀層，各銀層夾在兩個透 明介電膜的涂層之間。在低輻射涂層中增加銀膜的數(shù)量可以增大其紅外反 射。在商業(yè)的涂覆方法中，通過生長支持層(下面的)和上面的保護層來支持 Ag膜。特別是上面的保護層可以增加對層疊體的一些附加(對于銀膜)吸收。 對于層疊體中的多層銀膜，這可以使總吸收水平對一些應(yīng)用不可接受。這 也會降低涂層的可見光透射，和/或負面地影響涂層的顏色，和/或降低涂層 的耐久性。在一些方法中，生長支持層設(shè)置在銀膜之下，保護膜設(shè)置在銀 膜之上。低輻射涂層中生長支持層和保護層數(shù)量的增加可以增加涂層的總 體吸收。這在一些情況中是不理想的。或許由于這些原因，具有三個銀層 的低輻射涂層過去沒有占據(jù)較大市場。

提供包括三個紅外反射膜區(qū)域，并具有理想涂層性能和特性的低輻射 涂層是理想的。還需要提供能制備這種性質(zhì)的高品質(zhì)涂層的沉積方法和設(shè) 備。

發(fā)明概述

在某些實施方案中，本發(fā)明提供了在玻璃片上沉積膜的方法。在本發(fā) 明的實施方案中，該方法包括提供涂布機，該涂布機具有延伸通過涂布機 的基底行進通道。

下面的描述使用具有水平的基底輸送通道的涂布機作為實例(指向下和 向上涂覆以覆蓋兩個表面)。

總所周知，使用(幾乎)垂直的玻璃輸送通道的涂布機可以實現(xiàn)相同的目 的。在這種情況中，涂覆方向“向上”和“向下”被替換成：左和右。

表述“濺射”或“磁控濺射”代表目前最常用的涂覆方法，但很顯然 可以使用任何(大面積)真空涂覆方法來替換。

與這些涂層站(coating?station)相銜接的(in-line)可以為用于加熱、冷卻、 清潔、活化或者完成一些等離子體噴射處理(plasma?peening?action)的處理站 (treatment?station)。

還意味著，如果在基底通過涂覆線路的行進過程中，應(yīng)用了不同的氣 體(混合物)和壓力，那么可以存在動力氣體分離區(qū)。

優(yōu)選地，涂布機包括設(shè)置在基底行進通道上面的向下涂覆設(shè)備。玻璃 片在通常為水平的方向上沿著基底行進通道傳送，其中玻璃片的頂部主表 面定向朝上，且玻璃片的底部主表面定向朝下。操作向下涂覆設(shè)備，以在 玻璃片的頂部主表面上沉積涂層，從玻璃片的頂部主表面向外，該涂層包 括一系列的至少七個膜區(qū)域：第一透明介電膜區(qū)域、包含銀的第一紅外反 射膜區(qū)域、第二透明介電膜區(qū)域、包含銀的第二紅外反射膜區(qū)域、第三透 明介電膜區(qū)域、包含銀的第三紅外反射膜區(qū)域和第四透明介電膜區(qū)域。在 本發(fā)明的實施方案中，所述方法包括在玻璃片單次通過涂布機時沉積所提 到的膜區(qū)域，并且在此單次通過的過程中，玻璃片以超過275英寸每分鐘 的傳送速度傳送。透明介電膜區(qū)域可以由不同材料的多個分層構(gòu)成。除了 用于光學(xué)性能的選擇，這些材料可以選擇用于在任何任選的熱處理之前和/ 或之后優(yōu)化整個層疊體的電子、機械、和/或化學(xué)性能。在本發(fā)明的一些實 施方案中，涂布機具有包括至少60個濺射室的延伸的系列腔室，有用的涂 布寬度的主要尺寸至少為2米，且該方法包括在玻璃片單次通過涂布機的 過程中全部地涂覆玻璃片的頂部和底部主表面。