[發明專利]用于將模具與固化壓印材料分開的技術

無效

• 申請號: 200680044171.8
• 申請日: 2006-09-22
• 公開（公告）號: CN101316693A
• 公開（公告）日: 2008-12-03
• 發明（設計）人: M·加納帕斯蘇伯拉曼尼安;崔炳鎮;M·N·米勒;N·A·斯塔西;M·P·C·瓦茨
• 申請（專利權）人: 分子制模股份有限公司
• 主分類號: B29C59/02
• 分類號: B29C59/02;B29C43/00;B41F1/00;B29C69/00;B41F19/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 茅翊忞

1.一種用于將包括在模板中的模具與設置在襯底上的固化壓印材料分開的方 法，所述方法包括：

在靠近所述模具的所述模板中產生變形，從而足以產生一回復力，所述回復力 大于所述固化壓印材料和所述模具之間的粘合力。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述模板包括設置成與所述模具 相反的第一側，從而產生還包括：在所述第一側和所述模具之間誘導壓差。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，產生還包括：在所述模具中形成 足夠量值的波狀起伏以接觸所述襯底。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述模具包括周界，所述方法還 包括將設置成與所述周界同心的所述模具的區域與所述固化壓印材料分開。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述模具包括周界，所述方法還 包括將設置成與所述周界同心的所述模具的多個區域依次與所述固化壓印材料分 開。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括將圍繞通過所述模具中心 的軸線徑向對稱設置的所述模具的區域與所述固化壓印材料分開。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括將圍繞通過所述模具中心 的軸線徑向對稱設置的所述模具的多個區域依次與所述固化壓印材料分開。

8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：通過圍繞橫向于所述模 具表面的法線延伸的軸線轉動所述模具，將所述模具的區域與所述固化壓印材料分 開。

9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，產生還包括：形成所述模板包圍 所述模具的表面，以具有恒定的曲率半徑。

10.一種用于在襯底和具有模具的模板之間散布可適應材料的方法，所述方法 包括：

將所述模具定位成與所述襯底成疊置關系，以在其間限定一容積；

通過所述可適應材料與所述模具和所述襯底中的一個之間的毛細管作用，使所 述容積的第一子部分裝載所述可適應材料；以及

通過在所述模具中產生變形，來充填所述容積的第二子部分。

11.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述模板包括設置成與所述模 具相反的第一側，從而充填還包括：在所述第一側和所述模具之間產生壓差。

12.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述模具包括中央部分，充填 還包括：使可適應材料與所述中央部分接觸，接著使所述模具的其余部分與所述可 適應材料接觸。

13.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述模具包括中性軸線，裝載 還包括：在接觸所述可適應材料之前彎曲所述中性軸線。

14.如權利要求10所述的方法，其特征在于，定位還包括：使所述模具相對 于所述襯底居中。

15.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述模具具有與其相關聯的區 域，所述區域大于所述襯底的區域。

16.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述模板包括設置成與所述模 具相反的第一側，裝載還包括：改變所述模具和所述襯底之間的距離，同時在所述 第一側和所述模具上保持基本相等的壓力。

17.如權利要求10所述的方法，其特征在于，在充填之前進行裝載。

18.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述第一和第二子部分具有與 其相關聯的總容積，所述總容積小于所述容積。