[發(fā)明專利]基板檢查用夾具和檢查用探頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680042924.1
• 申請日: 2006-10-14
• 公開（公告）號: CN101310190A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 加藤穰;藤野真;宮武忠數(shù)
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德株式會社
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/02
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉

1.一種基板檢查用夾具，該基板檢查用夾具由以下部分構(gòu)成，即：檢查用探頭，其第一端部與作為檢查對象的被檢查基板的規(guī)定檢查位置以導電方式接觸；連接電極體，其具有與所述檢查用探頭的第二端部以導電方式接觸的電極部；以及保持體，其配置在所述被檢查基板與所述連接電極體之間并保持所述檢查用探頭，該基板檢查用夾具的特征在于，

所述保持體具有：

第一引導部，其形成有將所述檢查用探頭的第一端部引導到所述檢查位置的第一引導孔；以及

第二引導部，其形成有將所述檢查用探頭的第二端部引導到所述電極部的第二引導孔，且該第二引導部以在其與所述第一引導部之間相隔規(guī)定間隔的方式進行配置，

所述檢查用探頭由以下部分構(gòu)成，即：

線狀的導體部，其具有所述第一端部和所述第二端部且具有撓性；以及

絕緣部，其以絕緣方式覆蓋在除了所述第一端部和所述第二端部以外的所述導體部的外周上，

當所述第一端部與被檢查基板抵接而要使檢查用探頭彎曲時，為了使所述第二端部無橫向偏移地與所述電極部抵接，所述第二端部和與該第二端部鄰接的所述絕緣部的一部分位于第二引導孔內(nèi)，該絕緣部的一部分以在其與該第二引導孔之間相隔微小間隔的方式插入該第二引導孔內(nèi)，并且所插入的所述絕緣部的長度形成為比所述第二端部的長度長，

所述第二端部的長軸方向的長度形成為與所述檢查用探頭的絕緣部的外徑相同或比所述檢查用探頭的絕緣部的外徑短。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查用夾具，其特征在于，

所述第二引導部層疊有多個板狀構(gòu)件，該多個板狀構(gòu)件分別形成有引導所述第二端部的引導孔，

所述第二引導孔通過將所述板狀構(gòu)件的引導孔以在同一方向各偏移規(guī)定量的方式進行配置而形成為相對于板面的直角方向傾斜，

所述第二端部和所述絕緣部的邊界配置在與所述連接電極體連接的所述板狀構(gòu)件的引導孔內(nèi)。

3.一種基板檢查用夾具，該基板檢查用夾具由以下部分構(gòu)成，即：檢查用探頭，其第一端部與作為檢查對象的被檢查基板的規(guī)定檢查位置以導電方式接觸；連接電極體，其具有與所述檢查用探頭的第二端部以導電方式接觸的電極部；以及保持體，其配置在所述被檢查基板與所述連接電極體之間并保持所述檢查用探頭，該基板檢查用夾具的特征在于，

所述保持體具有：

第一引導部，其形成有將所述檢查用探頭的第一端部引導到所述檢查位置的第一引導孔；以及

第二引導部，其形成有將所述檢查用探頭的第二端部引導到所述電極部的第二引導孔，且該第二引導部以在其與所述第一引導部之間相隔規(guī)定間隔的方式進行配置，

所述檢查用探頭由以下部分構(gòu)成，即：

線狀的導體部，其具有所述第一端部和所述第二端部且具有撓性；以及

絕緣部，其以絕緣方式覆蓋在除了所述第一端部和所述第二端部以外的所述導體部的外周上，

當所述第一端部與被檢查基板抵接而要使檢查用探頭彎曲時，為了使所述第二端部無橫向偏移地與所述電極部抵接，所述第二端部和與該第二端部鄰接的所述絕緣部的一部分位于第二引導孔內(nèi)，該絕緣部的一部分以在其與該第二引導孔之間相隔微小間隔的方式插入該第二引導孔內(nèi)，并且所插入的所述絕緣部的長度形成為比所述第二端部的長度長，

所述第二引導孔的最小直徑形成為比所述檢查用探頭的絕緣部的外徑大。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢查用夾具，其特征在于，

所述第二引導部層疊有多個板狀構(gòu)件，該多個板狀構(gòu)件分別形成有引導所述第二端部的引導孔，

所述第二引導孔通過將所述板狀構(gòu)件的引導孔以在同一方向各偏移規(guī)定量的方式進行配置而形成為相對于板面的直角方向傾斜，

所述第二端部和所述絕緣部的邊界配置在與所述連接電極體連接的所述板狀構(gòu)件的引導孔內(nèi)。