[發(fā)明專利]基板檢查用夾具和檢查用探頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680042924.1
• 申請(qǐng)日: 2006-10-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101310190A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 加藤穰;藤野真;宮武忠數(shù)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R31/02
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于檢查作為檢查對(duì)象的被檢查基板的電氣特性的基板檢查用夾具和檢查用探頭。?

另外，本發(fā)明不限于印刷布線基板，例如可應(yīng)用于撓性基板、多層布線基板、液晶顯示器和等離子體顯示器用的電極板、以及半導(dǎo)體封裝用的封裝基板和薄膜載體等各種基板上的電布線檢查，在本說(shuō)明書中，將上述各種布線基板統(tǒng)稱為“基板”。?

背景技術(shù)

在基板上形成有由許多布線構(gòu)成的布線圖形，為了檢查布線圖形是否按設(shè)計(jì)那樣完成，以往提出了各種基板檢查裝置，這些裝置得到了實(shí)用。?

作為這種基板檢查裝置，例如存在這樣的裝置，即：從構(gòu)成布線圖形的多個(gè)布線中選擇任意2組布線上的檢查位置，檢查這些檢查位置之間是否電氣斷線或者是否導(dǎo)電等的電氣特性。?

在這種裝置中，具有這樣結(jié)構(gòu)的裝置是公知的，即：利用保持多個(gè)檢查用探頭的基板檢查用夾具，使檢查用探頭的一端與被檢查基板的檢查點(diǎn)接觸，使另一端與電極部接觸，將檢查裝置和檢查對(duì)象基板電連接。?

保持這種檢查用探頭的基板檢查用夾具采用這樣的結(jié)構(gòu)，即：為了解決檢查用探頭與被檢查基板或基板檢查用夾具的電極部之間的接觸問(wèn)題，安裝有在檢查用探頭的軸方向進(jìn)行伸縮的彈簧，或者使檢查用探頭自身具有彈性，使檢查用探頭在其軸方向撓曲，從而使檢查用探頭向軸方向外側(cè)施力。?

通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，在檢查用探頭與接觸部接觸時(shí)產(chǎn)生接觸壓力，解決了該連接不良問(wèn)題。?

例如，如圖6所示，基板檢查用夾具J將撓性的檢查用探頭P保持成在被檢查基板100和電極部E之間撓曲，從而向檢查用探頭P的軸方向外側(cè)產(chǎn)生施力，針對(duì)被檢查基板100的檢查位置101和電極部E產(chǎn)生接觸壓力。利用該接觸壓力，解決了檢查用探頭P與被檢查基板100或電極部E之間的接觸問(wèn)題(例如，參照專利文獻(xiàn)1或2)。?

然而，如專利文獻(xiàn)1或2所公開(kāi)的那樣，對(duì)于基板檢查用夾具J而言，在檢查用探頭P產(chǎn)生接觸壓力而與電極部接觸的情況下，檢查用探頭2相對(duì)于電極部E表面斜斜地傾斜，每當(dāng)承受負(fù)荷時(shí)，檢查用探頭的前端在電極部表面上滑動(dòng)，在布線上產(chǎn)生刮痕，或者電極部E和檢查用探頭P之間的接觸位置發(fā)生移動(dòng)，因而接觸不穩(wěn)定。?

專利文獻(xiàn)1：日本特許第3690796號(hào)公報(bào)?

專利文獻(xiàn)2：日本特許第3690801號(hào)公報(bào)?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述情況而作成的，本發(fā)明的目的是提供這樣的檢查用探頭和基板檢查用夾具，即：在使用檢查用探頭來(lái)實(shí)現(xiàn)被檢查基板和基板檢查用夾具的電極部的導(dǎo)電連接的情況下，在檢查用探頭承受負(fù)荷而處于以導(dǎo)電方式接觸狀態(tài)的情況下，可提供穩(wěn)定的接觸狀況。?

權(quán)利要求1所述的發(fā)明提供了一種基板檢查用夾具，該基板檢查用夾具由以下部分構(gòu)成，即：檢查用探頭，其第一端部與作為檢查對(duì)象的被檢查基板的規(guī)定檢查位置以導(dǎo)電方式接觸；連接電極體，其具有與所述檢查用探頭的第二端部以導(dǎo)電方式接觸的電極部；以及保持體，其配置在所述被檢查基板與所述連接電極體之間并保持所述檢查用探頭，該基板檢查用夾具的特征在于，所述保持體具有：第一引導(dǎo)部，其形成有將所述檢查用探頭的第一端部引導(dǎo)到所述檢查位置的第一引導(dǎo)孔；以及第二引導(dǎo)部，其形成有將所述檢查用探頭的第二端部引導(dǎo)到所述電極部的第二引導(dǎo)孔，所述檢查用探頭由以下部分構(gòu)成，即：線狀的導(dǎo)體部，其具有所述第一端部和所述第二端部且具有撓性；以及絕緣部，其以絕緣方式覆蓋在除了所述第一端部和所述第二端部以外的所述導(dǎo)體部的外周上，所述第二端部的長(zhǎng)度形成為比所述第二引導(dǎo)孔的長(zhǎng)度短。?

權(quán)利要求2所述的發(fā)明提供了權(quán)利要求1所述的基板檢查用夾具，其特征在于，所述電極部形成為與所述連接電極體的表面構(gòu)成同一面。?

權(quán)利要求3所述的發(fā)明提供了權(quán)利要求1或2所述的基板檢查用夾具，其特征在于，所述連接電極體和所述第二引導(dǎo)部以緊密接觸的方式進(jìn)行了配置。?

權(quán)利要求4所述的發(fā)明提供了權(quán)利要求1所述的基板檢查用夾具，其特征在于，所述檢查用探頭的最大直徑形成為比所述第二引導(dǎo)部的直徑小。?

權(quán)利要求5所述的發(fā)明提供了權(quán)利要求1所述的基板檢查用夾具，其特征在于，所述電極部由圓筒形的導(dǎo)線形成。?