[發明專利]用于檢測電子束的暴露的導體件系統和方法

有效

• 申請號: 200680039939.2
• 申請日: 2006-10-10
• 公開（公告）號: CN101297218A
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發明（設計）人: 拉爾斯·奧克·內斯隆德;漢斯·哈爾斯坦迪斯;安德斯·克里斯蒂安松;安德斯·赫德斯·奧爾松
• 申請（專利權）人: 利樂拉瓦爾集團及財務有限公司
• 主分類號: G01T1/18
• 分類號: G01T1/18;H01J47/14
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

背景技術

電子束用于多種不同的應用場合，包括但不局限于，為消毒目 的對包裝材料的照射。例如，利用等離子束照射對包裝材料進行消 毒，例如容置液體以用于大眾消費的紙盒。為提供對該電子束強度 的即時控制，以及監測均一性變化，電子傳感器用于劑量照射測量。 分析來自于傳感器的信號并作為反饋控制信號反饋到電子束控制 系統內。在包裝材料消毒中，這樣的傳感器反饋可用于保證足夠的 消毒等級。根據期望多長時間的保質期以及包裝件的分發及存儲是 在冷凍或還是環境溫度下進行，而可選擇不同的消毒等級。

一種基于直接測量方法測量電子束強度的現有傳感器的類型 使用置于真空室內的導體件。該真空室用于提供與周圍環境的隔 離。因為基于真空的傳感器可能相對較大，所以它們設置于直接電 子束路徑外部，以避免遮擋目標物體。該遮擋可例如妨礙對包裝材 料的正確照射(并由此妨礙正確的消毒)。因此，這些傳感器依賴 來自于該電子束外圍的次級信息，或者來自于該次級照射的信息， 以提供測量。

在操作中，來自于具有充足能量電子束的電子將穿透窗口(如 該真空的鈦(Ti)窗口)并被導體件吸收。被吸收的電子在導體件 內建立電流。該電流的幅度是穿透該真空室窗口的電子數目的度 量。該電流提供在傳感器位置處的電子束強度的度量。

一種已知的電子束傳感器具有真空室，該室帶有保護涂層以及 在室內部代表信號線的電極，該傳感器在公開的美國專利申請No. US2004/0119024中進行了描述。該室壁用于圍繞該電極保持真空容 積。該真空室具有精確地與該電極對準的窗口，以檢測該電子束強 度。該傳感器配置為相對于被照射的移動物品，設置在對著該電子 束發生器的位置，以用于檢測次級照射。

在專利申請WO2004/061890中描述了一種類似的離子束傳感 器。在該傳感器的一個實施方式中，真空室被移除，并且該電極提 供有絕緣層或膜。提供該絕緣層以避免來自于靜電場和由電子束產 生的等離子電子的影響，從而大體上避免影響該電極輸出。

美國專利No.6,657,212描述了一種電子束照射處理設備，其中 在電流檢測單元的導體件(例如不銹鋼導體件)上提供絕緣膜，該 單元設置于電子束管窗口的外部。電流測量單元包括測量電流的電 流計。該專利描述了陶瓷涂覆的檢測器的優點。

發明內容

披露了一種用于檢測沿路徑產生的電子束強度的檢測器。一種 示例性的檢測器包括連接到支撐件的暴露的導體件，該支撐件配置 為將該導體件設置于電子束路徑內；與該暴露的導體件隔離的第二 導體件，該第二導體件連接到電壓電位并部分圍繞該暴露的導體 件，以形成等離子罩，該等離子罩具有窗口，該暴露的導體件通過 該窗口暴露于電子束，該窗口至少設置在該電子束的方向上。

披露了一種用于檢測沿路徑產生的電子束強度的裝置。該示例 性的裝置包括用于傳導由該電子束的電子建立的電流的裝置；以及 用于防護該傳導裝置免受等離子影響的裝置，該防護裝置具有窗 口，該窗口設置為將該傳導裝置的至少一部分直接暴露于該電子束 的路徑。

披露了一種用于檢測沿路徑產生的電子束強度的檢測器。一種 示例性的檢測器包括連接到支撐件的暴露的導體件，該支撐件配置 為將該導體件設置在電子束路徑內；以及與該暴露的導體件隔離的 第二導體件，并設置為通過將該暴露的導體件的暴露大體上限定在 至少該電子束路徑的方向，而影響在該暴露的導體件上的次級電子 的感應。

披露了一種用于利用沿路徑發射的電子束照射目標區域的方 法。公開一種示例性的方法包括通過電子出射窗口以及沿路徑發射 電子束；檢測從該電子出射窗口離開的電子束，使用暴露的導體件 以及與該暴露的導體件隔離的第二導體件執行該檢測，該第二導體 件部分圍繞該暴露的導體件，以形成具有窗口的等離子罩，該窗口 至少設置在該電子束路徑的方向上；以及相對該暴露的導體件在期 望的測量位置保持移動的目標材料。

附圖說明

通過閱讀以下對實施方式的具體描述，并結合附圖，其它的特 點和實施方式對本領域的技術人員而言將更加明顯，其中相同的參 考標號用來指明相同的元件，并且其中：

圖1示出了根據一個示例性的實施方式，用于利用電子束照射 目標區域的示例性系統；

圖2和3A-3B示出了多檢測器結構的示例性實施方式；

圖4A-4K和圖5示出了電子束檢測器的備選實施方式。