[發(fā)明專利]用于檢測(cè)電子束的暴露的導(dǎo)體件系統(tǒng)和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680039939.2
• 申請(qǐng)日: 2006-10-10
• 公開（公告）號(hào): CN101297218A
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 拉爾斯·奧克·內(nèi)斯隆德;漢斯·哈爾斯坦迪斯;安德斯·克里斯蒂安松;安德斯·赫德斯·奧爾松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 利樂拉瓦爾集團(tuán)及財(cái)務(wù)有限公司
• 主分類號(hào): G01T1/18
• 分類號(hào): G01T1/18;H01J47/14
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

1.一種用于檢測(cè)沿路徑產(chǎn)生的電子束(106)的強(qiáng)度的檢測(cè)器 (104；300)，其包括：

連接到支撐件(112)的暴露的導(dǎo)體件(105；404)，該支 撐件(112)配置為將該導(dǎo)體件設(shè)置于電子束(106)的路徑內(nèi)； 以及

與該暴露的導(dǎo)體件(105；404)隔離的第二導(dǎo)體件(107； 402)，該第二導(dǎo)體件(107；402)連接到電壓電位并部分圍繞 該暴露的導(dǎo)體件(105；404)以形成等離子罩，該等離子罩具 有窗口，該暴露的導(dǎo)體件(105；404)通過該窗口暴露于電子 束(106)，該窗口至少設(shè)置在該電子束路徑的方向上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)器，其中該第二導(dǎo)體件(107；402) 連接到該檢測(cè)器(104)的接地電位。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)器，其中該第二導(dǎo)體件(107；402) 連接到電壓電位，該電壓電位足以影響從該檢測(cè)器(104)鄰 近區(qū)域內(nèi)的等離子抽出電子的速率。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)器，其包括：

電流計(jì)(126)，用于檢測(cè)該暴露的導(dǎo)體件(105)內(nèi)的電 流，作為對(duì)電子束強(qiáng)度的度量。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)器，其中該暴露的導(dǎo)體件(105) 形成具有外部導(dǎo)電涂層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測(cè)器，其中該外部導(dǎo)電涂層是惰性導(dǎo) 電材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)器，其包括：

該暴露的導(dǎo)體件的陣列，用于在該路徑內(nèi)多個(gè)位置中的 每個(gè)處檢測(cè)該電子束(106)的強(qiáng)度。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)器，其中該陣列的暴露的導(dǎo)體件設(shè) 置為相對(duì)于目標(biāo)區(qū)域(108)內(nèi)目標(biāo)材料的期望傳送方向成角 度，并且位于橫斷該路徑的平面內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)器，其包括：

用于比較在至少兩個(gè)不同的暴露的導(dǎo)體件內(nèi)檢測(cè)到的作 為電子束強(qiáng)度度量的電流水平的裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)器，其中該暴露的導(dǎo)體件形成為基 板的導(dǎo)電表面。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢測(cè)器，其包括：

該暴露的導(dǎo)體件的陣列，各暴露的導(dǎo)體件形成在基板上， 以在多個(gè)位置的每個(gè)處檢測(cè)該電子束強(qiáng)度。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢測(cè)器，其中該暴露的導(dǎo)體件設(shè)置為 相對(duì)于目標(biāo)區(qū)域(108)內(nèi)目標(biāo)材料的期望傳送方向成角度， 并且位于橫斷該路徑的平面內(nèi)。

13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測(cè)器，其包括：

連接到該第二導(dǎo)體件(402)的絕緣元件(406)。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)器(104)，其與用于利用沿路徑發(fā) 射的電子束(106)照射目標(biāo)區(qū)域(108)的系統(tǒng)(100)相結(jié) 合，該系統(tǒng)包括：

用于沿路徑發(fā)射該電子束(106)的電子束發(fā)生器(102)， 其中該電子束發(fā)生器(102)包括電子出射窗口(124)，該檢 測(cè)器(104)設(shè)置于沿該電子束發(fā)生器(102)和目標(biāo)區(qū)域(108) 之間的路徑的位置，以檢測(cè)和測(cè)量從該電子出射窗口(124) 射出的電子束(106)的強(qiáng)度。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢測(cè)器，其中該檢測(cè)器(104；300) 應(yīng)用在該電子出射窗口(124)的外部。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢測(cè)器，其包括：

電子束控制器(128)，用于響應(yīng)該檢測(cè)器(104，300) 的輸出，調(diào)整該電子束(106)的強(qiáng)度。

17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢測(cè)器，其中該電子束(106)以小于 100keV的能量發(fā)射。