[發(fā)明專利]測(cè)定裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200680038643.9 | 申請(qǐng)日： | 2006-10-04 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101292129A | 公開（公告）日： | 2008-10-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 當(dāng)摩明紀(jì);黑川秀二;杉下芳昭 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 琳得科株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/14 | 分類號(hào)： | G01B11/14;G01B11/26;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 徐金國(guó) |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測(cè)定 裝置 | ||
1.一種測(cè)量裝置，以在環(huán)形框架的開口部上貼付了粘結(jié)片的支撐體所支撐的，通過(guò)切斷被單片化為芯片狀的板狀部件為測(cè)量對(duì)象，測(cè)量該各芯片間隔，
所述測(cè)量裝置的特征在于包括：
測(cè)量所述芯片間隔的圖像處理設(shè)備；
將所述圖像處理設(shè)備所測(cè)量的所述芯片間隔儲(chǔ)存為測(cè)量數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)設(shè)備；和
輸出所述存儲(chǔ)設(shè)備中存儲(chǔ)的所述測(cè)量數(shù)據(jù)的輸出設(shè)備。
2.一種測(cè)量裝置，以在環(huán)形框架的開口部上貼付了粘結(jié)片的支撐體所支撐的，通過(guò)切斷被單片化為芯片狀的板狀部件為測(cè)量對(duì)象，測(cè)量通過(guò)所述切斷所形成的切斷線與所述環(huán)形框架的基準(zhǔn)方位的偏移角，
所述測(cè)量裝置的特征在于包括：
測(cè)量所述偏移角的圖像處理設(shè)備；
將所述圖像處理設(shè)備所測(cè)量的所述偏移角儲(chǔ)存為測(cè)量數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)設(shè)備；和
輸出所述存儲(chǔ)設(shè)備中存儲(chǔ)的所述測(cè)量數(shù)據(jù)的輸出設(shè)備。
3.一種測(cè)量裝置，以在環(huán)形框架的開口部上貼付了粘結(jié)片的支撐體所支撐的，通過(guò)切斷被單片化為芯片狀的板狀部件為測(cè)量對(duì)象，測(cè)量該各芯片間隔和通過(guò)所述切斷所形成的切斷線與所述環(huán)形框架的基準(zhǔn)方位的偏移角，
所述測(cè)量裝置的特征在于包括：
測(cè)量所述芯片間隔和所述偏移角的圖像處理設(shè)備；
將所述圖像處理設(shè)備所測(cè)量的所述芯片間隔和所述偏移角儲(chǔ)存為測(cè)量數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)設(shè)備；和
輸出所述存儲(chǔ)設(shè)備中存儲(chǔ)的所述測(cè)量數(shù)據(jù)的輸出設(shè)備。
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