[發明專利]旋轉卡盤

有效

• 申請號: 200680038583.0
• 申請日: 2006-10-26
• 公開（公告）號: CN101292325A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 權五珍;裴正龍;崔貞烈
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 禇海英;陳桂香

1.一種旋轉卡盤，其包括：

可旋轉的旋轉頭，其上放置有基底；

驅動單元，其被配置為使所述旋轉頭旋轉；

主軸，其被配置為連接所述驅動單元和所述旋轉頭；以及

固定支架，其安裝在所述旋轉頭的邊緣處并設置于與所述基底的平臺區相對應的位置；所述固定支架包括板以及基座，所述基座用于從所述旋轉頭的頂面支撐所述板，所述板包括接觸面以及曲面，所述接觸面與所述平臺區的平臺面相接觸，所述曲面與所述基底具有相同的圓周并與所述平臺區形狀相同；所述板與所述基底具有相同厚度，所述板由所述基座支撐，以使得所述板從所述旋轉頭的頂面與所述基底具有相同的高度；所述板的形狀隨著置于所述旋轉頭上的所述基底的平臺區的形狀與尺寸而改變，所述固定支架安裝在置于所述旋轉頭上的所述基底的平臺區處，使得所述基底形成完好的圓形，以防止所述平臺區引起的渦流。

2.根據權利要求1所述的旋轉卡盤，其中，所述旋轉卡盤還包括安裝于所述旋轉頭的上邊緣處的固定元件，以用來固定所述基底的下邊緣和側面。

3.根據權利要求2所述的旋轉卡盤，其中，所述旋轉卡盤還包括可旋轉地安裝于所述主軸內部的背部噴嘴單元，以用于向所述基底的背面注射化學物質。

4.一種旋轉卡盤，其包括：

可旋轉的旋轉頭，其上放置有基底，所述基底具有帶有多個平臺面的邊緣；

驅動單元，其被配置為使所述旋轉頭旋轉；

主軸，其被配置為連接所述驅動單元和所述旋轉頭；以及

多個固定支架，其安裝在所述旋轉頭的邊緣處并分別設置于與所述基底的所述多個平臺面相對應的位置；所述多個固定支架的每一個包括板以及基座，所述基座用于從所述旋轉頭的頂面支撐所述板，所述板包括接觸面以及曲面，所述接觸面與所述平臺面相接觸；所述板與所述基底具有相同厚度，所述板由所述基座支撐，以使得所述板從所述旋轉頭的頂面與所述基底具有相同高度；所述板的形狀隨著置于所述旋轉頭上的所述基底的平臺面的形狀與尺寸而改變；所述多個固定支架安裝在置于所述旋轉頭上的所述基底的所述多個平臺面處，所述板的所述曲面使得所述基底形成完好的圓形。

5.根據權利要求4所述的旋轉卡盤，還包括：

背部噴嘴單元，其可旋轉地安裝于所述主軸的內部，以向所述基底的背面注射化學物質。

6.根據權利要求4所述的旋轉卡盤，其中，所述基底是用于等離子顯示器(PDP)、液晶顯示器(LCD)、場致發射顯示器(FED)以及有機發光器件(OLED)的矩形板基底。