[發(fā)明專利]旋轉(zhuǎn)卡盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680038583.0
• 申請日: 2006-10-26
• 公開（公告）號: CN101292325A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 權(quán)五珍;裴正龍;崔貞烈
• 申請（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 北京信慧永光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 禇海英;陳桂香

1.一種旋轉(zhuǎn)卡盤，其包括：

可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)頭，其上放置有基底；

驅(qū)動單元，其被配置為使所述旋轉(zhuǎn)頭旋轉(zhuǎn)；

主軸，其被配置為連接所述驅(qū)動單元和所述旋轉(zhuǎn)頭；以及

固定支架，其安裝在所述旋轉(zhuǎn)頭的邊緣處并設(shè)置于與所述基底的平臺區(qū)相對應(yīng)的位置；所述固定支架包括板以及基座，所述基座用于從所述旋轉(zhuǎn)頭的頂面支撐所述板，所述板包括接觸面以及曲面，所述接觸面與所述平臺區(qū)的平臺面相接觸，所述曲面與所述基底具有相同的圓周并與所述平臺區(qū)形狀相同；所述板與所述基底具有相同厚度，所述板由所述基座支撐，以使得所述板從所述旋轉(zhuǎn)頭的頂面與所述基底具有相同的高度；所述板的形狀隨著置于所述旋轉(zhuǎn)頭上的所述基底的平臺區(qū)的形狀與尺寸而改變，所述固定支架安裝在置于所述旋轉(zhuǎn)頭上的所述基底的平臺區(qū)處，使得所述基底形成完好的圓形，以防止所述平臺區(qū)引起的渦流。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)卡盤，其中，所述旋轉(zhuǎn)卡盤還包括安裝于所述旋轉(zhuǎn)頭的上邊緣處的固定元件，以用來固定所述基底的下邊緣和側(cè)面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)卡盤，其中，所述旋轉(zhuǎn)卡盤還包括可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述主軸內(nèi)部的背部噴嘴單元，以用于向所述基底的背面注射化學(xué)物質(zhì)。

4.一種旋轉(zhuǎn)卡盤，其包括：

可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)頭，其上放置有基底，所述基底具有帶有多個(gè)平臺面的邊緣；

驅(qū)動單元，其被配置為使所述旋轉(zhuǎn)頭旋轉(zhuǎn)；

主軸，其被配置為連接所述驅(qū)動單元和所述旋轉(zhuǎn)頭；以及

多個(gè)固定支架，其安裝在所述旋轉(zhuǎn)頭的邊緣處并分別設(shè)置于與所述基底的所述多個(gè)平臺面相對應(yīng)的位置；所述多個(gè)固定支架的每一個(gè)包括板以及基座，所述基座用于從所述旋轉(zhuǎn)頭的頂面支撐所述板，所述板包括接觸面以及曲面，所述接觸面與所述平臺面相接觸；所述板與所述基底具有相同厚度，所述板由所述基座支撐，以使得所述板從所述旋轉(zhuǎn)頭的頂面與所述基底具有相同高度；所述板的形狀隨著置于所述旋轉(zhuǎn)頭上的所述基底的平臺面的形狀與尺寸而改變；所述多個(gè)固定支架安裝在置于所述旋轉(zhuǎn)頭上的所述基底的所述多個(gè)平臺面處，所述板的所述曲面使得所述基底形成完好的圓形。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)卡盤，還包括：

背部噴嘴單元，其可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述主軸的內(nèi)部，以向所述基底的背面注射化學(xué)物質(zhì)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)卡盤，其中，所述基底是用于等離子顯示器(PDP)、液晶顯示器(LCD)、場致發(fā)射顯示器(FED)以及有機(jī)發(fā)光器件(OLED)的矩形板基底。