[發(fā)明專利]拋光刷，拋光方法，拋光裝置及磁盤用玻璃基板的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680036280.5
• 申請日: 2006-09-28
• 公開（公告）號: CN101277790A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設計）人: 鹿島隆一;植田政明;重田文彥
• 申請（專利權）人: HOYA株式會社
• 主分類號: B24D13/10
• 分類號: B24D13/10;B24B9/00;B24B29/00;G11B5/84
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 史雁鳴

1.一種拋光刷，所述拋光刷用于一面向中心部具有圓孔的圓盤狀的玻璃基板的內周側端面部分供應拋光液，一面使拋光刷與前述玻璃基板的內周側端面接觸并旋轉以進行拋光的拋光方法，其特征在于，

前述拋光刷，相對于其軸心在大致垂直的方向上突出地設置毛狀材料，排列配置兩個外徑不同的部分，同時，其形成直徑小的部分與形成直徑大的部分相比，毛狀材料的硬度大。

2.如權利要求1所述的拋光刷，其特征在于，利用樹脂將前述拋光刷中的形成小直徑的部分的毛狀材料加固。

3.一種拋光方法，所述拋光方法對中心部具有圓孔的圓盤狀的玻璃基板的內周側端面進行拋光，其特征在于，

準備拋光刷，所述拋光刷配備有在軸心方向突出設置相互不同的外形部分的毛狀材料，且外形部分的小直徑部分與大直徑部分相比，毛狀材料的硬度更大，

一面向前述玻璃基板的內周側端面部分供應拋光液，一面利用前述拋光刷，將該拋光刷大致垂直地插入到前述圓孔內，使前述拋光刷相對于該圓孔的端面相對移動并且使之進行接觸并旋轉，拋光前述玻璃基板的內周側端面。

4.如權利要求3所述的拋光方法，其特征在于，使多個玻璃基板重疊進行拋光，以便能夠同時拋光多個玻璃基板的內周側端面。

5.如權利要求3所述的拋光方法，其特征在于，前述玻璃基板是中心部的圓孔的內徑在12mm以下的玻璃基板。

6.一種拋光裝置，其特征在于，所述拋光裝置包括：保持基板盒的基板盒保持機構，所述基板盒重疊地容納多個中心部具有圓孔的圓盤狀的玻璃基板；拋光液供應機構，所述拋光液供應機構向重疊在前述基板盒內的多個玻璃基板的內周側端面部分供應拋光液；拋光刷，所述拋光刷被以可與多個重疊在前述基板盒內的玻璃基板的內周側端面接觸并旋轉的方式保持；第一驅動機構，所述第一驅動機構旋轉驅動該拋光刷；第二驅動機構，所述第二驅動機構使前述拋光刷相對于所述基板盒內的多個重疊的玻璃基板的內周側端面相對移動；其中，前述拋光刷配備有沿著軸心方向突出設置有相互不同的外形部分的毛狀材料，外形部分的小直徑部分與大直徑部分相比，毛狀材料的硬度更大。

7.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述制造方法具有利用權利要求3所述的拋光方法拋光中心部具有圓孔的圓盤狀的玻璃基板的內周側端面的工序。

8.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，在利用權利要求7所述的磁盤用玻璃基板的制造方法制造的磁盤用玻璃基板的主表面上至少形成磁性層。

9.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，包括對玻璃基板的側壁面和存在于該玻璃基板的主表面與側壁面之間的中間面這兩方的面進行拋光的端面拋光工序，其特征在于，

所述制造方法利用具有以前述側壁面為主進行拋光的側壁面用拋光部和以前述中間面為主進行拋光的中間面用拋光部的拋光構件，向前述側壁面及前述中間面供應含有磨料的拋光液，進行前述端面的拋光工序。

10.如權利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述拋光構件具有旋轉軸，同時，一面使前述側壁面用拋光部與前述玻璃基板的側壁面接觸，以及/或者一面使前述中間面用拋光部與前述玻璃基板的中間面接觸，一面通過旋轉進行拋光。

11.如權利要求10所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述拋光構件，從前述旋轉軸到前述側壁面用拋光部的相對于前述旋轉軸正交的方向上的長度，比從前述旋轉軸到前述中間面用拋光部的相對于前述旋轉軸正交的方向上的長度短。

12.如權利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述拋光構件具有旋轉軸，同時，在通過該旋轉軸的平面上的前述拋光構件的截面形狀與疊層的玻璃基板的端部形狀相一致。

13.如權利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，為了同時拋光多個玻璃基板的內周側端面，將多個玻璃基板重疊進行端面拋光。

14.如權利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述拋光構件的前述側壁面用拋光部與前述中間面用拋光部朝著軸向方向交替地配置。

15.如權利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述中間面用拋光部是拋光刷。