[發(fā)明專利]拋光刷，拋光方法，拋光裝置及磁盤用玻璃基板的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680036280.5
• 申請(qǐng)日: 2006-09-28
• 公開（公告）號(hào): CN101277790A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鹿島隆一;植田政明;重田文彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: HOYA株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B24D13/10
• 分類號(hào): B24D13/10;B24B9/00;B24B29/00;G11B5/84
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 史雁鳴

1.一種拋光刷，所述拋光刷用于一面向中心部具有圓孔的圓盤狀的玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面部分供應(yīng)拋光液，一面使拋光刷與前述玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面接觸并旋轉(zhuǎn)以進(jìn)行拋光的拋光方法，其特征在于，

前述拋光刷，相對(duì)于其軸心在大致垂直的方向上突出地設(shè)置毛狀材料，排列配置兩個(gè)外徑不同的部分，同時(shí)，其形成直徑小的部分與形成直徑大的部分相比，毛狀材料的硬度大。

2.如權(quán)利要求1所述的拋光刷，其特征在于，利用樹脂將前述拋光刷中的形成小直徑的部分的毛狀材料加固。

3.一種拋光方法，所述拋光方法對(duì)中心部具有圓孔的圓盤狀的玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面進(jìn)行拋光，其特征在于，

準(zhǔn)備拋光刷，所述拋光刷配備有在軸心方向突出設(shè)置相互不同的外形部分的毛狀材料，且外形部分的小直徑部分與大直徑部分相比，毛狀材料的硬度更大，

一面向前述玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面部分供應(yīng)拋光液，一面利用前述拋光刷，將該拋光刷大致垂直地插入到前述圓孔內(nèi)，使前述拋光刷相對(duì)于該圓孔的端面相對(duì)移動(dòng)并且使之進(jìn)行接觸并旋轉(zhuǎn)，拋光前述玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面。

4.如權(quán)利要求3所述的拋光方法，其特征在于，使多個(gè)玻璃基板重疊進(jìn)行拋光，以便能夠同時(shí)拋光多個(gè)玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面。

5.如權(quán)利要求3所述的拋光方法，其特征在于，前述玻璃基板是中心部的圓孔的內(nèi)徑在12mm以下的玻璃基板。

6.一種拋光裝置，其特征在于，所述拋光裝置包括：保持基板盒的基板盒保持機(jī)構(gòu)，所述基板盒重疊地容納多個(gè)中心部具有圓孔的圓盤狀的玻璃基板；拋光液供應(yīng)機(jī)構(gòu)，所述拋光液供應(yīng)機(jī)構(gòu)向重疊在前述基板盒內(nèi)的多個(gè)玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面部分供應(yīng)拋光液；拋光刷，所述拋光刷被以可與多個(gè)重疊在前述基板盒內(nèi)的玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面接觸并旋轉(zhuǎn)的方式保持；第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)該拋光刷；第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使前述拋光刷相對(duì)于所述基板盒內(nèi)的多個(gè)重疊的玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面相對(duì)移動(dòng)；其中，前述拋光刷配備有沿著軸心方向突出設(shè)置有相互不同的外形部分的毛狀材料，外形部分的小直徑部分與大直徑部分相比，毛狀材料的硬度更大。

7.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述制造方法具有利用權(quán)利要求3所述的拋光方法拋光中心部具有圓孔的圓盤狀的玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面的工序。

8.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，在利用權(quán)利要求7所述的磁盤用玻璃基板的制造方法制造的磁盤用玻璃基板的主表面上至少形成磁性層。

9.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，包括對(duì)玻璃基板的側(cè)壁面和存在于該玻璃基板的主表面與側(cè)壁面之間的中間面這兩方的面進(jìn)行拋光的端面拋光工序，其特征在于，

所述制造方法利用具有以前述側(cè)壁面為主進(jìn)行拋光的側(cè)壁面用拋光部和以前述中間面為主進(jìn)行拋光的中間面用拋光部的拋光構(gòu)件，向前述側(cè)壁面及前述中間面供應(yīng)含有磨料的拋光液，進(jìn)行前述端面的拋光工序。

10.如權(quán)利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述拋光構(gòu)件具有旋轉(zhuǎn)軸，同時(shí)，一面使前述側(cè)壁面用拋光部與前述玻璃基板的側(cè)壁面接觸，以及/或者一面使前述中間面用拋光部與前述玻璃基板的中間面接觸，一面通過旋轉(zhuǎn)進(jìn)行拋光。

11.如權(quán)利要求10所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述拋光構(gòu)件，從前述旋轉(zhuǎn)軸到前述側(cè)壁面用拋光部的相對(duì)于前述旋轉(zhuǎn)軸正交的方向上的長(zhǎng)度，比從前述旋轉(zhuǎn)軸到前述中間面用拋光部的相對(duì)于前述旋轉(zhuǎn)軸正交的方向上的長(zhǎng)度短。

12.如權(quán)利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述拋光構(gòu)件具有旋轉(zhuǎn)軸，同時(shí)，在通過該旋轉(zhuǎn)軸的平面上的前述拋光構(gòu)件的截面形狀與疊層的玻璃基板的端部形狀相一致。

13.如權(quán)利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，為了同時(shí)拋光多個(gè)玻璃基板的內(nèi)周側(cè)端面，將多個(gè)玻璃基板重疊進(jìn)行端面拋光。

14.如權(quán)利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述拋光構(gòu)件的前述側(cè)壁面用拋光部與前述中間面用拋光部朝著軸向方向交替地配置。

15.如權(quán)利要求9所述的磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述中間面用拋光部是拋光刷。