[發明專利]涂布裝置、分散液移動方法

有效

• 申請號: 200680034370.0
• 申請日: 2006-10-26
• 公開（公告）號: CN101267894A
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: 滑川巧;馬場惠;井上祐也;村田真朗;羽根功二;R·D·塔夫;R·R·麥卡;R·D·福克斯
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C5/00;B05D1/26;B05D3/00;G02F1/13;G02F1/1339
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 孫秀武;李平英

技術領域

本發明涉及噴墨方式的間隔物涂布裝置，特別涉及循環式間隔物涂布裝置。

背景技術

近年來，為了涂布液晶顯示裝置的間隔物，采用了應用噴墨打印機的噴墨方式的間隔物涂布裝置。

圖9(a)的符號111是間隔物涂布裝置的一個例子，在底座105的上方位置配置有安裝在保持框120上的噴頭121，在底座105上配置液晶用的基板107，將噴頭121與基板107沿著掃描方向109相對移動，同時由噴頭121噴出分散有間隔物的分散液，則分散液彈落到在基板107表面的所要求的位置，間隔物以配置的方式構成。

圖8是用于說明以往技術的間隔物涂布裝置111的分散液供給系統的框圖。

該間隔物涂布裝置111中，噴頭121由多個噴頭組件121a-121c構成，各噴頭組件121a-121c與位于底座105一側的供給罐136連接。

供給罐136以與各噴頭組件121a-121c噴出孔的位置相同的高度儲存分散液138，打開供給罐136與各噴頭組件121a-121c之間的閥，在供給罐136與各噴頭組件121a-121c連接的狀態下通過加壓裝置130將氣體供給供給罐136的內部，則供給罐136內的壓力升高，供給罐136內的分散液138被供給各噴頭組件121a-121c。

各噴頭組件121a-121c以與回收罐137連接，由供給罐136供給的分散液流入噴頭組件121a-121c內，然后再返回至回收罐137中的方式構成。

回收罐137與供給罐136互相連接，回收到回收罐137的分散液139可以返回至供給罐136。

專利文獻1：日本特開2004-50059號公報

專利文獻2：日本特開2002-72218號公報

專利文獻3：日本特開平11-7028號公報

發明內容

以往技術的涂布裝置111中，如上所述，分散液通過加壓供給各噴頭組件121a-121c，因此氣體容易溶解入分散液138中，其在噴頭組件121a-121c內形成氣泡并析出，可能發生噴出錯誤。

在分散液的供應中使用泵，則發生氣體的卷入，除此之外還有間隔物變形、損壞的問題。

為解決上述課題，本發明是使噴頭組件與基板相對移動、使分散有固體微粒的分散液彈落在基板的所要求的位置上的涂布裝置，該涂布裝置具有：配置在上述噴頭組件外部的第一、第二循環罐；設于上述噴頭組件的緩沖罐；流入口與上述緩沖罐相連接的噴出室；設于上述第一、第二循環罐與上述緩沖罐之間的主配管；設于上述噴出室的流出口與上述第一、第二循環罐之間的返回配管；設于上述主配管、使上述第一、第二循環罐中的至少一方與上述緩沖罐連接的供給閥；設于上述返回配管、使上述第一、第二循環罐中的至少一方與上述噴頭組件連接的返回閥，以上述第一、第二循環罐和上述緩沖罐密閉，可以調控配置于上述各罐內部的上述分散液的上部空間壓力的方式構成。

本發明涉及涂布裝置，該涂布裝置以具有與上述第一、第二循環罐連接的給排氣裝置，可對上述第一、第二循環罐內上述分散液液面上方的空間供給加壓氣體以及進行真空排氣的方式構成。

本發明又涉及涂布裝置，其中，以真空泵和氣體供給系統與上述緩沖罐連接，可以控制上述緩沖罐內上述分散液的液面上方空間壓力的方式構成。

本發明還涉及涂布裝置，其中，以由上述氣體供給系統供給He的方式構成。

本發明又涉及涂布裝置，其中，以在上述第一、第二循環罐之間設置移動用配管，上述分散液不經上述噴出室，可以在上述第一、第二循環罐之間移動的方式構成。

本發明還涉及具有聚集物分離用濾器的涂布裝置，其中所述聚集物分離用濾器設置在上述移動用配管中，使上述固體微粒的單體通過，捕獲上述固體微粒的聚集物。

本發明又涉及具有固體微粒除去用濾器的涂布裝置，其中所述固體微粒除去用濾器設于上述移動用配管中，捕獲上述固體微粒的單體。

本發明又涉及涂布裝置，其中，分散液由循環罐供給噴出室的配管的至少一部分由不具有透液性而具有透氣性、上述分散液流過的內管，和不具有透氣性、上述內管插入連通的外管的雙重配管構成，上述內管與上述外管之間可以進行真空排氣。

本發明又涉及分散液移動方法，其是使上述任何涂布裝置內部的循環液體移動的分散液移動方法，該方法是在上述第一、第二循環罐中，以其中任意一方作為供給源，在使上述供給閥為打開狀態、與上述緩沖罐連接時，使上述作為供給源的循環罐內的壓力為大氣壓或以下，同時使上述分散液從上述作為供給源的循環罐向上述緩沖罐內移動。