[發明專利]涂布裝置、分散液移動方法

有效

• 申請號: 200680034370.0
• 申請日: 2006-10-26
• 公開（公告）號: CN101267894A
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: 滑川巧;馬場惠;井上祐也;村田真朗;羽根功二;R·D·塔夫;R·R·麥卡;R·D·福克斯
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C5/00;B05D1/26;B05D3/00;G02F1/13;G02F1/1339
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 孫秀武;李平英

1.涂布裝置，該涂布裝置是使噴頭組件與基板相對移動、使分散有固體微粒的分散液彈落在基板上的所希望的位置，該涂布裝置具有：

配置在上述噴頭組件外部的第一、第二循環罐；

設于上述噴頭組件的緩沖罐；

流入口與上述緩沖罐相連接的噴出室；

設于上述第一、第二循環罐與上述緩沖罐之間的主配管；

設于上述噴出室的流出口與上述第一、第二循環罐之間的返回配管；

設于上述主配管、使上述第一、第二循環罐中的至少一方與上述緩沖罐連接的供給閥；和

設于上述返回配管、使上述第一、第二循環罐中的至少一方與上述噴頭組件連接的返回閥；

以上述第一、第二循環罐和上述緩沖罐密閉，可以控制配置于上述各罐內部的上述分散液的上部空間壓力的方式構成。

2.權利要求1的涂布裝置，該涂布裝置以具有與上述第一、第二循環罐連接的給排氣裝置，可對上述第一、第二循環罐內上述分散液液面上方的空間供給加壓氣體以及進行真空排氣的方式構成。

3.權利要求1的涂布裝置，其中，以真空泵和氣體供給系統與上述緩沖罐連接，可以控制上述緩沖罐內上述分散液的液面上方空間的壓力的方式構成。

4.權利要求3的涂布裝置，其中，以由上述氣體供給系統供給He的方式構成。

5.權利要求1的涂布裝置，其中，以在上述第一、第二循環罐之間設置移動用配管，上述分散液不經上述噴出室，可以在上述第一、第二循環罐之間移動的方式構成。

6.權利要求5的涂布裝置，該涂布裝置具有聚集物分離用濾器，該聚集物分離用濾器設置在上述移動用配管中，使上述固體微粒的單體通過，捕獲上述固體微粒的聚集物。

7.權利要求5的涂布裝置，該涂布裝置具有固體微粒除去用濾器，該固體微粒除去用濾器設于上述移動用配管中，捕獲上述固體微粒的單體。

8.權利要求1的涂布裝置，其中，分散液由循環罐供給噴出室的配管的至少一部分由不具有透液性而具有透氣性、上述分散液流過的內管，和不具有透氣性、上述內管插入連通的外管的雙重配管構成，上述內管與上述外管之間是以能夠進行真空排氣的方式構成。

9.分散液移動方法，該方法是使權利要求1的涂布裝置內部的循環液體移動的分散液移動方法，

在上述第一、第二循環罐中，以其中任意一方作為供給源，在使上述供給閥為打開狀態，并與上述緩沖罐連接時，

使上述作為供給源的循環罐內的壓力為大氣壓或以下，同時使上述分散液從上述作為供給源的循環罐向上述緩沖罐內移動。

10.分散液移動方法，該方法是使權利要求1的涂布裝置內部的循環液體移動的分散液移動方法，

在上述第一、第二循環罐中，以其中任意一方作為回收目的地，在使上述返回閥為打開狀態，并與上述噴出室連接時，

使上述作為回收目的地的循環罐內的壓力比大氣壓低，使上述噴出室內的上述分散液移動至上述作為回收目的地的循環罐中。

11.分散液移動方法，該方法是使權利要求1的涂布裝置內部的循環液體移動的分散液移動方法，

在上述第一、第二循環罐中，以其中任意一方作為供給源，使上述供給閥為打開狀態，并與上述緩沖罐連接，

以另一方作為回收目的地，使上述返回閥為打開狀態，并與上述噴出室連接，

使上述作為供給源的循環罐內的上述分散液流過上述緩沖罐和上述噴出室移動至上述作為回收目的地的循環罐中。