[發明專利]用于俘獲基板的系統和方法

無效

• 申請號: 200680030803.5
• 申請日: 2006-07-31
• 公開（公告）號: CN101247900A
• 公開（公告）日: 2008-08-20
• 發明（設計）人: 丹尼爾·小耶爾法瑞;特洛伊·B·史考金斯
• 申請（專利權）人: 恩特格林斯公司
• 主分類號: B08B17/00
• 分類號: B08B17/00;H01L21/322;H01L21/00;C23C16/44;G01N33/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 許靜

技術領域

本發明涉及一種在一電子處理環境中偵測與移除一分子物種的方法，以及用于施行該方法的系統，用于在電子制造環境中實時偵測與移除污染物。

背景技術

在電子制造期間與分子污染物是否存在有關的實時信息已經越來越重要。隨著裝置處理成本與耗時越來越高，在完成一中間步驟時和一被處理的基板的狀態有關的精確信息會相當有利。特別重要的是需要有分子物種信息，而非僅為一基板的一般型態信息，這是因為此污染可能并不會在污染的初始點處便顯現有其存在，而是直到實施數道后續步驟之后才會顯現。同樣地，因為裝置的形體尺寸不斷地縮小，分子物種必須在越來越低的密度等級被偵測出來。正在進行電子處理的裝置特別容易在中間制程間輸送該等裝置期間受到污染。輸送容器(如前開式聯合晶圓盒(front?opening?unified?pod))時可能會不慎經由該容器構造的泄漏或散發而將污染物引至其內正在輸送的材料中。

發明內容

本發明的實施例是關于運用一俘獲基板來純化一環境及/或確認該環境中是否有一分子物種存在的方法與系統，當該環境是位于電子制造中所運用的輸送容器內時，此等實施例會特別有利，其可純化及/或確認分子物種，該分子物種為在實時裝置制造期間介于個別處理步驟之內及之間的污染物。與見證晶圓(witness?wafer)所不同是(見證晶圓是在模型實驗中用于推知和一假定工作器具環境污染有關的一般信息)，本發明的一些實施例允許正在實施一真實制程時來分析實時信息，以判斷制程污染情形。

本發明的其中一實施例是關于一種在一電子基板的電子處理環境中偵測一分子物種的方法。一俘獲基板會曝露在一具有該分子物種的電子處理環境中，該俘獲基板具有一不同于該電子基板的表面積。該分子物種會被輸送至該俘獲基板。接著便會確認該被輸送的分子物種的特征，從而偵測該分子物種。

該俘獲基板可能包括硅、低k介電質、銅、或是一仿真該正在進行電子處理的電子基板的表面特征的表面。該分子物種可能為一污染物。該環境可能包括一流動流體或是一大致靜止的流體。該環境可能位于一輸送容器內，較佳的是位于一前開式聯合晶圓盒(FOUP)內。該FOUP可被配置成用以固持至少26片晶圓形狀的基板。該FOUP可能含有25片正在進行電子處理的晶圓以及一片俘獲基板。該電子基板較佳的為一硅晶圓，更佳的為一未經處理的單晶硅晶圓。該俘獲基板具有不同于該電子基板的表面積，舉例來說，該俘獲基板的表面積可能至少約為該硅晶圓表面積的10倍。較佳而言，該俘獲基板的表面積至少約為該硅晶圓表面積的25倍。更佳而言，該俘獲基板的表面積至少約為該硅晶圓表面積的100倍。輸送該分子物種至該俘獲基板可能還會純化該分子物種的環境。通過從該俘獲基板中脫附該物種便可部份確認該分子物種的特征。

本發明的另一實施例是關于從一電子基板的電子處理環境中移除一分子物種。一俘獲基板會曝露在一具有該分子物種的電子處理環境中，該俘獲基板具有一不同于該電子基板的表面積。該分子物種會被輸送至該俘獲基板，從而自該環境中移除該分子物種。

于本發明的另一實施例中提供一種診斷系統，用以診斷在一電子基板的電子處理環境中是否有一物種存在。該系統包含一包圍一環境的輸送容器，以及一被包含于該輸送容器中的俘獲基板。該俘獲基板具有一不同于該電子基板的表面積。該系統可能還進一步包含一位于一迷你環境中的熱脫附裝置，該迷你環境被配置成當該基板被安置在該熱脫附裝置中時用以從該俘獲基板中移除一分子物種。

于本發明的另一實施例中提供一種判斷方法，用以判斷一運作于兩個迷你環境之間的輸送容器中是否有一分子物種存在。一俘獲基板會從一第一迷你環境中被加載一輸送容器之中，該容器還會固持至少一來自該第一迷你環境的電子基板。該輸送容器會從該第一迷你環境中被輸送至一第二迷你環境中。該俘獲基板會被移除并且分析以判斷至少一分子物種是否存在。視情況，該分子物種會接著從該俘獲基板中被移除并且在后續輸送至另一迷你環境期間重新用在一輸送容器之中。

本發明的另一實施例是關于一種判斷方法，用以判斷一運作于一電子制程中的輸送容器中是否有一分子物種存在。于一運用多道步驟的電子制程中會完成至少一處理步驟。一輸送容器會裝載一俘獲基板，并且會至少固持一片于一先前處理步驟中被處理的電子基板。該輸送容器會被輸送至一位置以實施一后續處理步驟。該俘獲基板會被移除并且分析該分子物種是否存在。于實施后續的制程步驟時可反復施行本方法。

附圖說明