[發明專利]微結構體的檢查裝置、檢查方法以及檢查程序

無效

• 申請號: 200680028847.4
• 申請日: 2006-08-02
• 公開（公告）號: CN101238376A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發明（設計）人: 八壁正巳;池內直樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00;H01L21/027
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇

技術領域

本發明涉及一種檢查微結構體(微小構造體)例如MEMS(Micro?Electro?Mechanical?Systems：微機電系統)的檢查裝置、檢查方法以及檢查程序。

背景技術

近年來，特別是使用半導體微細加工技術等將機械/電子/光/化學等多種功能集成化的設備即MEMS受到關注。作為到目前為止已經實際應用的MEMS技術，例如作為汽車/醫療用的各種傳感器，在作為微傳感器的加速度傳感器、壓力傳感器、空氣流量傳感器等上搭載有MEMS設備。另外，通過在噴墨打印頭上采用該MEMS技術，能夠增加噴墨的噴嘴數以及進行正確的噴墨，能夠實現像質的提高和打印速度的高速化。并且，作為普通的MEMS設備，還眾所周知在反射型投影儀中使用的微鏡陣列等。

另外，期待今后通過開發利用了MEMS技術的各種傳感器、致動器(actuator)從而開展向光通信/移動設備的應用、向計算機外圍設備的應用、以及向生物分析、便攜用電源的應用。在技術調查報告第3號(經濟產業省產業技術環境局技術調查室制造產業局產業機械科發行平成15年3月28日)中，以與MEMS相關的技術現狀和問題為議題介紹了各種MEMS技術。

另一方面，伴隨著MEMS設備的發展，因為是微細的結構等，因此對其適當檢查的方式也變得越來越重要。以往，在封裝后使設備轉動、或者使用振動等方法執行其特性的評價，但是在微細加工技術后的晶片(wafer)狀態等的初始階段中執行合適檢查來檢測不合格，從而能夠提高成品率來進一步降低制造成本。

在日本特開平5-34371號公報中，作為一例提出了如下的檢查方式：對形成在晶片上的加速度傳感器，檢測通過噴射空氣而發生變化的加速度傳感器的電阻值，從而判別加速度傳感器的特性。

專利文獻1：日本特開平5-34371號公報

非專利文獻1：技術調查報告第3號(經濟產業省產業技術環境局技術調查室制造產業局產業機械科發行平成15年3月28日)

發明內容

發明要解決的問題

通常加速度傳感器等具有微小可動部的結構體，是其響應特性對于微小運動也發生變化的設備。因而，為了評價其特性，需要進行高精確度的檢查。在上述公報所示那樣通過空氣的噴射使設備發生變化的情況下，必須施加微調整來評價加速度傳感器的特性，但是控制氣體流量、并且向設備均勻地噴射氣體來執行高精確度檢查是極為困難的，即便是執行也必須設置復雜且昂貴的測試器。

并且，在噴射空氣的情況下，使空氣具有指向性從而對特定的位置噴射空氣來執行高精確度檢查是困難的。

本發明是為了解決如上所述的問題而作出的發明，其目的在于提供一種以簡易的方式高精確度地檢查具有微小可動部的微結構體的檢查裝置、檢查方法以及檢查程序。

用于解決問題的方案

與本發明有關的微結構體的檢查裝置對具有形成在基板上的可動部的、至少一個微結構體的特性進行評價，其特征在于具備：聲波產生單元，其在測試時向微結構體輸出測試聲波；以及評價單元，其用于檢測對由聲波產生單元輸出的測試聲波進行了響應的微結構體的可動部的運動，并根據檢測結果來評價微結構體的特性。評價單元根據至少一個規定頻帶中的基于微結構體的可動部的運動而輸出的輸出電壓和成為規定閾值的輸出電壓之間的比較，評價微結構體的特性。

最好是規定閾值具有規定頻帶中的第1以及第2閾值判定水平，評價單元在與規定頻帶中的第1以及第2閾值判定水平之間包括輸出電壓的頻率響應特性的情況下，判斷為合格品。

最好是規定閾值具有規定頻帶中的多個閾值判定水平，評價單元根據多個閾值判定水平將規定頻帶中的輸出電壓的頻率響應特性的分布分割為多組，根據輸出電壓的頻率響應特性所屬的組來評價質量。

最好是評價單元將規定頻帶中的輸出電壓的頻率響應特性的分布分割為多個頻帶組，根據輸出電壓的頻率響應特性所屬的組來評價質量。

最好是測試聲波具有單一的任意頻率。

最好是測試聲波具有多個不同的任意頻率。

特別是，測試聲波相當于白噪聲。