[發明專利]微結構體的檢查裝置、檢查方法以及檢查程序

無效

• 申請號: 200680028847.4
• 申請日: 2006-08-02
• 公開（公告）號: CN101238376A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發明（設計）人: 八壁正巳;池內直樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00;H01L21/027
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇

1.一種微結構體的檢查裝置，對具有形成在基板上的可動部的、至少一個微結構體的特性進行評價，其特征在于，具備：

聲波產生單元，其在測試時向上述微結構體輸出測試聲波；以及

評價單元，其用于檢測對由上述聲波產生單元輸出的上述測試聲波進行了響應的上述微結構體的可動部的運動，并根據檢測結果來評價上述微結構體的特性，

上述評價單元根據至少一個規定頻帶中的基于上述微結構體的可動部的運動而輸出的輸出電壓和成為規定閾值的輸出電壓之間的比較，評價上述微結構體的特性。

2.根據權利要求1所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述規定閾值具有上述規定頻帶中的第1以及第2閾值判定水平，

上述評價單元在與上述規定頻帶中的上述第1以及第2閾值判定水平之間包括上述輸出電壓的頻率響應特性的情況下，判斷為合格品。

3.根據權利要求1所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述規定閾值具有上述規定頻帶中的多個閾值判定水平，

上述評價單元根據上述多個閾值判定水平將上述規定頻帶中的上述輸出電壓的頻率響應特性的分布分割為多組，根據上述輸出電壓的頻率響應特性所屬的組來評價質量。

4.根據權利要求1所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述評價單元將上述規定頻帶中的上述輸出電壓的頻率響應特性的分布分割為上述多個頻帶組，根據上述輸出電壓的頻率響應特性所屬的組來評價質量。

5.根據權利要求1～4任意一項所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述測試聲波具有單一的任意頻率。

6.根據權利要求1～4任意一項所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述測試聲波具有多個不同的任意頻率。

7.根據權利要求6所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述測試聲波相當于白噪聲。

8.一種微結構體的檢查裝置，對具有形成在基板上的可動部的、至少一個微結構體的特性進行評價，其特征在于，具備：

驅動單元，其電氣性地使上述微結構體的可動部進行運動；以及

評價單元，其用于檢測對上述微結構體的運動進行響應而輸出的聲音，并根據檢測結果來評價上述微結構體的特性，

上述評價單元根據至少一個規定頻帶中的基于上述微結構體的可動部的運動而輸出的輸出聲壓和成為規定閾值的輸出聲壓之間的比較，評價上述微結構體的特性。

9.根據權利要求8所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述規定閾值具有上述規定頻帶中的第1以及第2閾值判定水平，

上述評價單元在與上述規定頻帶中的上述第1以及第2閾值判定水平之間包括上述輸出聲壓的頻率響應特性的情況下，判斷為合格品。

10.根據權利要求8所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述規定閾值具有上述規定頻帶中的多個閾值判定水平，

上述評價單元根據上述多個閾值判定水平將上述規定頻帶中的上述輸出聲壓的頻率響應特性的分布分割為多組，根據上述聲壓的頻率響應特性所屬的組來評價質量。

11.根據權利要求8～10任意一項所述的微結構體的檢查裝置，其特征在于，

上述評價單元將上述規定頻帶中的上述輸出聲壓的頻率響應特性的分布分割為上述多個頻帶組，根據上述輸出聲壓的頻率響應特性所屬的組來評價質量。

12.一種微結構體的檢查方法，對具有形成在基板上的可動部的、至少一個微結構體的特性進行評價，其特征在于，具備：

在測試時向上述微結構體輸出測試聲波的步驟；

檢測對由上述聲波產生單元輸出的上述測試聲波進行了響應的上述微結構體的可動部的運動的步驟；以及

根據檢測結果來評價上述微結構體的特性的步驟，

在上述進行評價的步驟中根據至少一個規定頻帶中的被檢測出的輸出電壓和成為規定閾值的輸出電壓之間的比較，來評價上述微結構體的特性。