[發明專利]光調制器及其制造方法

無效

• 申請號: 200680028489.7
• 申請日: 2006-09-27
• 公開（公告）號: CN101238404A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發明（設計）人: 神力孝;近藤勝利;齊藤勉
• 申請（專利權）人: 住友大阪水泥股份有限公司
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李香蘭

1、一種光調制器，包括：厚度為20μm以下的薄板，其由具有電光學效果的材料形成；光波導，其形成在該薄板的表面或背面；和調制電極，其形成在該薄板的表面，用于對通過該光波導內的光進行調制；

上述光調制器具有：

增強板，其被接合在該薄板的背面；和

導電膜，其從該薄板的側面到該增強板的側面連續地形成。

2、根據權利要求1所述的光調制器，其特征在于，

該導電膜還形成在該增強板的背面。

3、一種光調制器，包括：厚度為20μm以下的薄板，其由具有電光學效果的材料形成；光波導，其形成在該薄板的表面或背面；和調制電極，其形成在該薄板的表面，用于對通過該光波導內的光進行調制；

在該薄板的背面形成有隔著粘接層接合的增強板；

在該粘接層與該增強板之間形成有導電膜。

4、根據權利要求3所述的光調制器，其特征在于，

具有導電膜，該導電膜從該薄板的側面到該增強板的側面連續地形成。

5、根據權利要求1～4中任一項所述的光調制器，其特征在于，

形成該導電膜的材料包含Au、Ti、Si的至少某一個。

6、一種光調制器的制造方法，該光調制器包括：厚度為20μm以下的薄板，其由具有電光學效果的材料形成；光波導，其形成在該薄板的表面或背面；和調制電極，其形成在該薄板的表面，用于對通過該光波導內的光進行調制；

上述制造方法包括：

接合工序，在該薄板的背面側接合增強板；

覆蓋工序，用保護膜至少覆蓋該薄板的表面和形成有該光波導的出射部以及入射部的該薄板的側面；

導電膜形成工序，在該覆蓋工序后，在未被保護膜所覆蓋的薄板和增強板的露出部分形成導電膜；和

除去工序，在該導電膜形成工序后，除去該保護膜。