[發(fā)明專利]半導(dǎo)體測(cè)試裝置、功能板以及接口板

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680028210.5
• 申請(qǐng)日: 2006-08-01
• 公開（公告）號(hào): CN101238379A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊藤良真;林省三
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 壽寧

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置及接口板(interface?plate)。更詳細(xì)涉及在被測(cè)試器件(device?to?be?tested)之間，通過(guò)輸入輸出測(cè)試信號(hào)(testingsignal)，執(zhí)行被測(cè)試器件的測(cè)試的半導(dǎo)體測(cè)試裝置和可安裝在這樣的半導(dǎo)體測(cè)試裝置上的接口板。對(duì)于承認(rèn)通過(guò)文件參照而加入內(nèi)容的指定國(guó)，通過(guò)參照以下申請(qǐng)所記載的內(nèi)容編入本申請(qǐng)，作為本申請(qǐng)的一部分。

1.特愿：2005-228289，申請(qǐng)日：2005年8月5日

背景技術(shù)

通常，半導(dǎo)體裝置在其制造過(guò)程以及出場(chǎng)之前進(jìn)行測(cè)試品質(zhì)管理。這樣的測(cè)試，是臨時(shí)將被測(cè)試器件實(shí)際安裝在半導(dǎo)體測(cè)試裝置上，通過(guò)半導(dǎo)體測(cè)試裝置上設(shè)置的信號(hào)組件與被測(cè)試之間輸入輸出測(cè)試信號(hào)來(lái)執(zhí)行測(cè)試。

一方面，近年來(lái)開發(fā)出了被叫“SoC(System?on?Chip)”，“SIP(Systemin?Package)”，“系統(tǒng)LSI”等的各種半導(dǎo)體裝置。這種半導(dǎo)體裝置，將處理器，存儲(chǔ)器，輸入輸出電路，控制電路等功能不同的電路集成在一個(gè)芯片或組件上，大大地縮小了貼裝面積和降低了功率消耗。因此，為電子學(xué)(electronics)產(chǎn)品的小型化和降低功率消耗做出了貢獻(xiàn)。

這種半導(dǎo)體裝置，由于內(nèi)置有所處理的信號(hào)種類不同的電路，因此，在進(jìn)行上述半導(dǎo)體測(cè)試時(shí)，輸入輸出的測(cè)試信號(hào)的種類也多種多樣涉及廣泛。比方說(shuō)，電信號(hào)根據(jù)其頻帶及強(qiáng)度等，信號(hào)傳送路的適用規(guī)格也不同。為此，半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試信號(hào)的處理也不得不變得復(fù)雜。

在如下所示專利文獻(xiàn)1中，記載了能實(shí)施SoC測(cè)試的測(cè)試系統(tǒng)和在那里使用的功能板(performance?board)。功能板具有能直接安裝被測(cè)試器件的測(cè)試頭(test?head)。另外，還具有用來(lái)對(duì)測(cè)試裝置進(jìn)行電連接的連接器(connector)。另外，在功能板上，這些測(cè)試頭以及連接器被電連接。因而，通過(guò)在測(cè)試裝置安裝擁有恰當(dāng)?shù)臏y(cè)試頭的功能板，以此，能夠容易地實(shí)際在測(cè)試裝置上安裝物理連接構(gòu)造不一樣的被測(cè)試器件。

而且，上述功能板實(shí)裝有包括種類不同的適配器(adaptor)的連接器，并且能同時(shí)處理頻帶或者強(qiáng)度不同的信號(hào)。因而對(duì)安裝了用于處理RF(Radio?Frequency)信號(hào)的電路的SoC，也能同時(shí)測(cè)試邏輯電路以及RF信號(hào)電路。而且通過(guò)交換功能板，也能夠容易地對(duì)應(yīng)規(guī)格不同的其他測(cè)試裝置的測(cè)試。

當(dāng)然，被測(cè)試器件有時(shí)被統(tǒng)稱為DUT(Device?Under?Test)。另外，有時(shí)稱半導(dǎo)體測(cè)試裝置為自動(dòng)測(cè)試裝置或者ATE(Automatic?TestEquipment)。而且功能板又被叫做負(fù)載板、電路板。另外，接口板(interfaceplate)有時(shí)也被叫做HIFIX(高度定位裝置)、測(cè)試頭底板(test?headchassis)、測(cè)試套件(test?fixture)、頂板(top?plate)等。

專利文獻(xiàn)1：特開2004-108898號(hào)公報(bào)

SoC、SIP、系統(tǒng)LSI等的被測(cè)試器件，其輸入輸出端子數(shù)也非常多。另外，如上所述，包括各種各樣的被處理的信號(hào)的頻帶和強(qiáng)度的裝置。因此，用來(lái)連接測(cè)試裝置和功能板的信號(hào)媒體以及連接機(jī)構(gòu)的種類也是各種各樣。因而，連接功能板和測(cè)試裝置也不是容易的工作，并且因?yàn)楣δ馨宓母鼡Q使得測(cè)試工作整體效率低下。因此，提出了功能板和測(cè)試裝置之間的叫做接口板的構(gòu)件介入其間，簡(jiǎn)化功能板的安裝工序的方案。

接口板被安裝到測(cè)試裝置一側(cè)，具有與測(cè)試裝置的測(cè)試信號(hào)輸入輸出端子連接的插座(receptacle)。另外，該插座(孔)與功能板一側(cè)安裝的連接器相對(duì)應(yīng)。因而，針對(duì)事先安裝了接口板的測(cè)試裝置，能夠通過(guò)插座和連接器的嵌合，迅速地安裝上功能板。還有，通過(guò)將功能板一側(cè)的連接器和接口板一側(cè)的插座的物理上的設(shè)置相對(duì)應(yīng)，能同時(shí)讓多個(gè)連接器以及插座嵌合。另外，在以下的描述中，將連接器和插座組合后的一套連接機(jī)構(gòu)稱作″連接器對(duì)″。

但是，在連接器對(duì)里有時(shí)包含嵌合行程(fitting?stroke)不同的東西。另外，同時(shí)一次連接連接器對(duì)中，有時(shí)存在需要使用大的力的問(wèn)題。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠解決上述課題的半導(dǎo)體測(cè)試裝置以及接口板。該目的通過(guò)權(quán)利要求中的獨(dú)立權(quán)利要求記載的特征組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容