[發明專利]半導體測試裝置、功能板以及接口板

無效

• 申請號: 200680028210.5
• 申請日: 2006-08-01
• 公開（公告）號: CN101238379A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發明（設計）人: 伊藤良真;林省三
• 申請（專利權）人: 愛德萬測試株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽寧

1、一種半導體測試裝置，其特征在于包括：

測試頭，其包括發出并處理在與被測試器件之間進行輸入輸出的測試信號的信號組件；

接口板，其具有與板本體以及所述信號組件電連接，且設置在所述板本體之上的多個插座、并被安裝在所述測試頭上；以及，

功能板，所述功能板在一面具有嵌合并電連接在所述插座上的連接器，另一面具有與所述連接器電連接，且能夠安裝所述被測試器件的測試用插口，通過將所述連接器嵌合在所述插座上，而安裝在所述接口板上；

所述多個插座或者所述多個連接器，包括在所述連接器對所述插座插拔的方向，相對于所述板本體位移的升降插座及升降連接器。

2、根據權利要求1所述的半導體測試裝置，其特征在于所述多個連接器以及所述插座被設置呈環狀，包圍安裝在所述測試用插口上的所述被測試器件。

3、根據權利要求1所述的半導體測試裝置，其特征在于所述多個連接器及所述插座被設置呈多個環狀，包圍安裝在所述測試用插口上的所述被測試器件，所述多個環狀互相具有共同的中心。

4，根據權利要求1至3任一所述的半導體測試裝置，其特征在于相對于所述板本體彈性支撐的所述升降插座或所述升降連接器，與被插入的所述連接器共同沿所述插拔方向位移。

5、根據權利要求1所述的半導體測試裝置，其特征在于所述插座具有與所述插座相輔的形狀部分，通過用于多個保持所述插座的插座保持座(holder)，支撐在所述板本體上。

6、根據權利要求5所述的半導體測試裝置，其特征在于所述插座保持座包括：

升降插座保持座，用于保持所述升降插座；所述升降插座保持座通過所述連接器對所述插座插拔的方向，相對于所述板本體位移，而沿所述連接器對所述插座的插拔方向，相對于所述板本體位移。

7、根據權利要求5或6所述的半導體測試裝置，其特征在于其中，所述插座保持座設置呈環狀，包圍安裝在所述測試用插口上的所述被測試器件。

8、根據權利要求5或6所述的半導體測試裝置，其特征在于其中，所述插座保持座設置呈多個環狀，包圍安裝在所述測試用插口上的所述被測試器件，且所述多個環狀具有相互共同的中心。

9、根據權利要求7或7所述的半導體測試裝置，其特征在于所述插座保持座分別保持具有相互相等的嵌合行程的所述插座。

10、根據權利要求6至10任何一項所述的半導體測試裝置，其特征在于還包括：用于將所述升降插座保持座的位移向所述插座及所述連接器的插拔方向引導的導向裝置、在所述升降插座保持座形成的相對于所述極板本體的表面傾斜的傾斜面、以及接觸到所述傾斜面后，通過水平位移使所述升降插座保持座位移的驅動裝置。

11、根據權利要求1至10任何一項所述的半導體測試裝置，其特征在于所述升降插座及與此對應的所述連接器的嵌合行程比其他的所述插座以及與此對應的所述連接器的嵌合行程還長，在所述插座和所述連接器嵌合過程中，當所述其他的插座以及所述連接器的嵌合后，所述升降插座向所述連接器位移。

12、根據權利要求1至10任何一項所述的半導體測試裝置，其特征在于所述升降插座以及與此對應的所述連接器的嵌合行程比其他的所述插座以及與此對應的所述連接器的嵌合行程還短，在所述插座和所述連接器嵌合過程中，在所述升降插座以及所述連接器嵌合之后，到所述其他的升降插座及所述連接器嵌合為止，所述升降插座及所述連接器位移。

13、根據權利要求1至12任何一項所述的半導體測試裝置，其特征在于所述插座是具有由相互獨立的電耦合構成的多個端子的多功能插座。

14、根據權利要求1至13任何一項所述的半導體測試裝置，其特征在于所述插座是具有芯線和用于包裹所述芯線的屏蔽導線的同軸型插座。

15、一種接口板，其特征在于：所述接口板被安裝在半導體裝置的測試頭上的板本體、所述接口板電連接在發出用于測試被測試器件的測試信號的信號組件上，且所述接口板包括設置在所述板本體上的多個插座，所述接口板裝載了一個在其側面具有嵌合并電連接在所述插座上的連接器的功能板，

所述多個插座包括在所述連接器對所述插座的插拔方向，相對于所述板位移的升降插座。

16、一種功能板，是具有能夠在半導體測試裝置的測試頭上安裝被測試器件的測試用插口的功能板，其特征在于其包括：

板本體，在一面上裝載有所述測試用插口、

多個連接器，安裝在所述板本體的另一面，相對嵌合于電連接在信號組件上的插座，所述信號組件發出用于測試被測試器件的測試信號，

所述多個連接器還包括在所述連接器對所述插座的插拔方向，相對于所述板本體位移的升降連接器。