[發明專利]定時發生器及半導體試驗裝置

有效

• 申請號: 200680027856.1
• 申請日: 2006-07-28
• 公開（公告）號: CN101233419A
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發明（設計）人: 須田昌克
• 申請（專利權）人: 株式會社愛德萬測試
• 主分類號: G01R31/3183
• 分類號: G01R31/3183
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李香蘭

1.一種定時發生器，其特征在于，

具備：給予數據信號規定的延遲量并輸出的一個或兩個以上的定時發生部；以及對這些定時發生部分配時鐘的時鐘分配電路，

所述時鐘分配電路，具備：

時鐘主路徑，其傳輸所述時鐘；

時鐘回送路，其將由該時鐘主路徑傳輸來的時鐘回送；

偏壓發生電路，其輸入向所述時鐘主路徑輸入的傳輸時鐘和由所述時鐘回送路回送來的回送時鐘，

所述時鐘主路徑，具有對傳輸的時鐘給予規定的延遲量的主路徑用緩沖器，

所述時鐘回送路，具有對回送的時鐘給予規定的延遲量的回送路用緩沖器，

所述主路徑用緩沖器和所述回送路用緩沖器的負載電容相同，

所述偏壓發生電路，生成：用于給予所述主路徑用緩沖器及所述回送路用緩沖器同一電位的偏壓，并將其送向所述主路徑用緩沖器及所述回送路用緩沖器。

2.如權利要求1所述的定時發生器，其特征在于，

所述偏壓發生電路，具有延遲鎖環電路，

該延遲鎖環電路，輸入：被輸入向所述時鐘主路徑的傳輸時鐘和由所述時鐘回送路回送來的回送時鐘，并基于這些傳輸時鐘及回送時鐘，生成所述偏壓。

3.如權利要求1或2所述的定時發生器，其特征在于，

所述主路徑用緩沖器及所述回送路用緩沖器，包含由電流源控制進行負載電容的充電的電流量的、級聯連接的多個緩沖器。

4.一種半導體試驗裝置，其特征在于，

具備：

周期發生器，其基于輸入的基準時鐘輸出周期數據；

圖案發生器，其基于所述周期數據輸出試驗圖案信號和期待值圖案信號；

定時發生器，其輸入所述基準時鐘和所述周期數據和所述試驗圖案信號，并輸出整形時鐘信號和比較時鐘信號；

波形整形器，其將所述整形時鐘信號進行整形，輸出整形圖案信號，并將其送向半導體器件；

邏輯比較電路，其基于所述比較時鐘信號將所述半導體器件的應答輸出和所述期待值圖案信號進行比較，

所述定時發生器由所述權利要求1～權利要求3中任一項所述的定時發生器構成。