[發明專利]平版印刷設備中的光學系統

無效

• 申請號: 200680014811.0
• 申請日: 2006-05-02
• 公開（公告）號: CN101171546A
• 公開（公告）日: 2008-04-30
• 發明（設計）人: 讓－佛朗索瓦·塔內;讓－呂克·米什蘭;羅蘭·蓋爾
• 申請（專利權）人: 薩熱姆防務安全公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B17/08
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余朦;方挺

1.單一放大率的光學系統，在像空間和物空間是遠心的，用于中等清晰度的平版印刷，包括：

-“Dyson?Winne”型的結構，其具有凹球面鏡，用于物體和像穿過凹球面鏡的曲率中心，光學模塊配置在凹球面鏡的曲率中心附近，

其特征在于，所述結構包括所述凹球面鏡和光學模塊，

-至少由兩個透鏡組成的組，其位于所述光學模塊的附近并具有區域校正功能，以及可以將光速約束在減小的體積中，

-至少由另外兩個透鏡組成的組，其位于凹球面鏡的正向附近，并具有對孔徑的色象差和色象進行校正的主要功能。

2.根據權利要求1所述的光學系統，其特征在于，整個像區域大于凹球面鏡直徑的65％。

3.根據前述權利要求中任一權利要求所述的光學系統，其特征在于，凹球面鏡、光學模塊和不同透鏡都配置在差不多呈圓柱的封罩中。

4.根據前述權利要求中任一權利要求所述的光學系統，其特征在于，用于平版印刷的掩模和板沿平行面移動，其特征還在于，光學模塊相對于凹球面鏡的軸線呈45°延伸，以便合攏來自掩模的光線，并向板發射像光束。

5.根據前述權利要求中任一權利要求所述的光學系統，其特征在于，至少一個透鏡是非球形的。

6.根據前述權利要求中任一權利要求所述的光學系統，其中，鏡子(10)是Mangin型的鏡子，其由對透鏡背面進行反射處理而形成。