[發明專利]用于涂覆光學數據載體的片狀襯底的裝置和方法

無效

• 申請號: 200680014284.3
• 申請日: 2006-04-20
• 公開（公告）號: CN101213603A
• 公開（公告）日: 2008-07-02
• 發明（設計）人: C·韋因德爾;W·盧克豪布
• 申請（專利權）人: 施蒂格哈馬技術股份公司
• 主分類號: G11B7/26
• 分類號: G11B7/26;C23C14/50;G11B7/24
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 李永波;趙辛

1.用于涂覆光學數據載體的片狀襯底的裝置，其包括以下部分：

構成真空腔的外殼，其中外殼具有至少兩個涂覆口和至少一個輸入/輸出口，其中至少兩個襯底可以同時通過輸入/輸出口裝入真空腔中或從真空腔中卸出；

至少兩個陰極濺射裝置，其中每個陰極濺射裝置從外部真空密封地封閉外殼的涂覆口中的一個涂覆口，和其中陰極濺射裝置各具有一個要濺射的靶子；

布置在真空腔內的輸送裝置，其用于在至少一個輸入/輸出口和涂覆口之間同時輸送至少四個襯底；和

控制單元，其用于依據要求的涂覆結果這樣地控制輸送裝置，使得襯底從至少一個輸入/輸出口按順序地輸送到第一涂覆口、第二涂覆口和接著輸送到至少一個輸入/輸出口(串聯控制)或這樣地，使得襯底從至少一個輸入/輸出口輸送到一個涂覆口和接著直接地輸送到至少一個輸入/輸出口(并聯控制)。

2.用于涂覆光學數據載體的片狀襯底的裝置，其包括以下部分：

構成真空腔的外殼，其中外殼具有至少兩個涂覆口和至少一個輸入/輸出口；

至少兩個陰極濺射裝置，其中每個陰極濺射裝置從外部真空密封地封閉外殼的涂覆口中的一個涂覆口，其中陰極濺射裝置各具有一個要濺射的靶子；

布置在真空腔內的輸送裝置，其用于在至少一個輸入/輸出口和涂覆口之間同時輸送至少兩個襯底。

3.按照權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，輸入/輸出口和涂覆口在外殼的一個共同的壁中構成。

4.按照前述權利要求中之一所述的裝置，其特征在于，至少兩個陰極濺射裝置具有帶不同的材料的靶子。

5.按照前述權利要求中之一所述的裝置，其特征在于，輸送裝置基本上在水平定向上支承襯底。

6.按照前述權利要求中之一所述的裝置，其特征在于，在外殼的上壁中構造有不同的開口。

7.按照前述權利要求中之一所述的裝置，其特征在于，輸送裝置具有帶至少四個接納器的可旋轉的輸送單元和至少一個單獨的升降單元。

8.按照權利要求7所述的裝置，其特征在于，設有至少兩個單獨的升降單元。

9.按照權利要求7或8所述的裝置，其特征在于，升降單元的升降元件與外殼的各自的開口對準。

10.用于在使用按照前述權利要求中之一所述的裝置下涂覆光學數據載體的片狀襯底的方法，包括以下步驟；

通過至少一個輸入/輸出口將至少兩個襯底同時裝入真空腔中；

通過輸送裝置將襯底同時輸送到各自的涂覆口；

在各自的涂覆口處將襯底同時涂覆上第一覆層。

11.按照權利要求10的方法，其特征在于，襯底在涂覆了第一覆層之后同時通過輸送裝置輸送到至少一個輸入/輸出口，從此處它們被同時從真空腔中取走。

12.用于在使用按照前述權利要求中之一所述的裝置下涂覆光學數據載體的片狀襯底的方法，包括以下步驟：

通過至少一個輸入/輸出口將一個襯底裝入真空腔中；

通過輸送裝置將襯底輸送到第一涂覆口；

在第一涂覆口處將襯底涂覆上第一覆層；

通過輸送裝置將襯底輸送到第二涂覆口；

在第二涂覆口處將襯底涂覆上第二覆層，其中第一和第二覆層由不同的材料組成。

13.按照權利要求12的方法，其特征在于，在第一和第二涂覆口處同時涂覆不同的襯底。

14.按照權利要求10至13中之一所述的方法，其特征在于，襯底在進行涂覆期間保持靜止。