[發(fā)明專利]用于涂覆光學(xué)數(shù)據(jù)載體的片狀襯底的裝置和方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680014284.3
• 申請(qǐng)日: 2006-04-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101213603A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: C·韋因德?tīng)?/a>;W·盧克豪布
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 施蒂格哈馬技術(shù)股份公司
• 主分類號(hào): G11B7/26
• 分類號(hào): G11B7/26;C23C14/50;G11B7/24
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 李永波;趙辛

本發(fā)明涉及一種用于涂覆光學(xué)數(shù)據(jù)載體的片狀襯底的裝置和方法。

在制造光學(xué)數(shù)據(jù)載體，如例如CD，DVD，Blu-ray(藍(lán)光)和它們各自的下級(jí)格式(Unterfomaten)時(shí)，需要在載體襯底上施加反射覆層。依據(jù)要形成的光學(xué)數(shù)據(jù)載體的不同情況，可能需要將一個(gè)覆層施加到一個(gè)單一的載體襯底上(單層格式)或者將兩個(gè)由通常不同的材料或材料組分構(gòu)成的覆層施加到兩個(gè)不同的載體襯底上(雙層格式)。對(duì)于未來(lái)還可以考慮將兩個(gè)或更多個(gè)由可能是不同的材料構(gòu)成的覆層施加到載體襯底上。

涂覆一般通過(guò)陰極濺鍍裝置實(shí)施，其中由涂覆材料構(gòu)成的靶子被濺射，以涂覆載體襯底。此時(shí)涂覆總是在真空中實(shí)施的。

為了制造單層格式和雙層格式分別采用了不同的陰極濺鍍裝置，其中為了制造雙層格式使用了兩個(gè)單獨(dú)的涂覆裝置具有單獨(dú)的閘腔、輸送腔和陰極濺射腔。此時(shí)的缺點(diǎn)是需要相對(duì)較大數(shù)量的陰極濺鍍裝置，特別是對(duì)于雙層格式而言，它們需要自己的帶有相應(yīng)的輸送單元的閘腔和輸送腔。

因此，從已知的涂覆裝置出發(fā)，本發(fā)明的任務(wù)是，提出一種用于涂覆光學(xué)數(shù)據(jù)載體的片狀襯底的裝置和方法，它能夠以簡(jiǎn)單的和成本有利的方式實(shí)現(xiàn)襯底的涂覆，特別是平行地涂覆用于雙層格式的單獨(dú)的襯底。

按照本發(fā)明，該任務(wù)在一種用于涂覆光學(xué)數(shù)據(jù)載體的片狀襯底的裝置中這樣得到解決，即該裝置具有以下部分：構(gòu)成真空腔的外殼，其中外殼具有至少兩個(gè)涂覆口和至少一個(gè)輸入/輸出口，其中至少兩個(gè)襯底可以同時(shí)通過(guò)輸入/輸出口裝入真空腔中或從真空腔中卸出；至少兩個(gè)陰極濺射裝置，其中每個(gè)陰極濺射裝置從外部真空密封地封閉外殼的涂覆口中的一個(gè)涂覆口，和其中陰極濺射裝置各具有一個(gè)要濺射的靶子；布置在真空腔內(nèi)的輸送裝置，其用于在至少一個(gè)輸入/輸出口和涂覆口之間同時(shí)輸送至少四個(gè)襯底；和控制單元，其用于依據(jù)要求的涂覆結(jié)果這樣地控制輸送裝置，使得襯底從至少一個(gè)輸入/輸出口按順序地輸送到第一涂覆口、第二涂覆口和接著輸送到至少一個(gè)輸入/輸出口(串聯(lián)控制)或這樣地，使得襯底從至少一個(gè)輸入/輸出口輸送到一個(gè)涂覆口和接著直接地輸送到至少一個(gè)輸入/輸出口(并聯(lián)控制)。上述裝置能夠一方面以很低的裝置費(fèi)用在并聯(lián)控制輸送裝置的情況下實(shí)現(xiàn)單層格式和雙層格式的制造，以及在串聯(lián)控制輸送裝置時(shí)在襯底上涂覆兩個(gè)或更多覆層。因此同一個(gè)裝置可以用于不同的格式，并且對(duì)于雙層格式可以設(shè)置一個(gè)單獨(dú)的設(shè)備。此外特別是在襯底上涂覆多個(gè)覆層時(shí)不需要將襯底在具有自己的閘腔，輸送裝置等等的不同的涂覆裝置中的不同的涂覆工序之間運(yùn)進(jìn)和又運(yùn)出。這樣就大大低降低了裝置費(fèi)用和控制技術(shù)上的費(fèi)用。

本發(fā)明的任務(wù)還由一種用于涂覆光學(xué)數(shù)據(jù)載體的片狀襯底的裝置解決，其中該裝置具有構(gòu)成真空腔的外殼，其具有至少兩個(gè)涂覆口和至少一個(gè)輸入/輸出口；兩個(gè)陰極濺射裝置，其分別從外部真空密封地封閉外殼的涂覆口中的一個(gè)涂覆口并且各具有一個(gè)要濺射的靶子；和布置在真空腔內(nèi)的具有至少四個(gè)襯墊接納器的輸送裝置，其用于在至少一個(gè)輸入/輸出口和至少兩個(gè)涂覆口之間同時(shí)和并列地輸送至少兩個(gè)襯底。

上述裝置特別是設(shè)計(jì)用于涂覆多個(gè)用于單層或雙層格式的襯底，其中在一個(gè)具有單個(gè)的輸送裝置和單個(gè)的真空腔的單獨(dú)的裝置內(nèi)能夠同時(shí)涂覆至少兩個(gè)襯底。

優(yōu)選地，輸入/輸出口和涂覆口在外殼的一個(gè)共同的壁中構(gòu)成，其簡(jiǎn)化了襯底的裝載和卸載并且能夠?qū)崿F(xiàn)簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的輸送裝置。

按照本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，至少兩個(gè)陰極濺射裝置具有不同的材料的靶子，這特別是對(duì)制造雙層格式大多是必須的。但是，單層格式也可以用不同的覆層制造，只有要求的話。

按照本發(fā)明的一個(gè)特別優(yōu)選的實(shí)施例，輸送裝置基本上在水平定向上支承襯底，這能夠?qū)崿F(xiàn)與現(xiàn)有的制造系統(tǒng)進(jìn)行很好的連接，在這些系統(tǒng)中襯底一般在水平定向上支承。因此不需要改變襯底的位置，這便于建造和控制相應(yīng)的操作裝置。優(yōu)選地，外殼的該壁是外殼的一個(gè)上壁，這便于襯底的裝載和卸載和特別是便于對(duì)陰極濺射裝置的作用，例如為了進(jìn)行靶子更換或者維修。

優(yōu)選地，輸送裝置具有可旋轉(zhuǎn)的帶至少四個(gè)接納器的輸送單元和至少一個(gè)單獨(dú)的升降單元。通過(guò)將可旋轉(zhuǎn)的輸送單元與升降單元分開(kāi)，各自的單元可以簡(jiǎn)單地構(gòu)造和控制。為了使襯底或襯底盤(pán)運(yùn)動(dòng)到輸入/輸出口和/或涂覆口和從它們那里離開(kāi)，此時(shí)需要升降單元。

優(yōu)選地，設(shè)置至少兩個(gè)單獨(dú)的升降單元，以便例如為輸入/輸出口和涂覆口設(shè)置不同的升降單元。此時(shí)優(yōu)選地使升降單元的升降元件與其中一個(gè)壁中的各自的開(kāi)口對(duì)準(zhǔn)。