[發明專利]掃描束裝置的資料處理方法

無效

• 申請號: 200680007110.4
• 申請日: 2006-03-28
• 公開（公告）號: CN101133473A
• 公開（公告）日: 2008-02-27
• 發明（設計）人: 今井大輔
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H01J37/22
• 分類號: H01J37/22
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽寧

技術領域

本發明是有關于一種將電子束或離子束等荷電粒子束二維掃描于試料上，以形成掃描圖像的掃描束裝置，且特別是有關于掃描束裝置的掃描圖像的資料處理。

背景技術

于掃描束裝置中，將荷電粒子束二維掃描于試料上以獲得掃描圖像。為了于該掃描束裝置中進行二維掃描而使荷電粒子束與試料臺于X軸方向以及Y軸方向上相對移動，借此獲得掃描圖像。

伴隨形成于作為試料的基板上的框架的大型化，以及隨的產生的基板本身的大型化，而要求有效獲得掃描圖像。

作為滿足該要求的結構，眾所周知有使用多個荷電粒子束源，并借由該多個荷電粒子束而獲得掃描圖像的結構。

圖6是用以說明掃描束裝置的概略圖。再者，在圖6中表示有如下情形，使用電子束作為荷電粒子束并對作為試料的TFT陣列基板進行二維掃描，由此獲得掃描圖像。

圖6(a)表示TFT陣列基板1的概略圖，并且于基板1上形成有TFT陣列的面板2，以及用以將電流自外部供給至該TFT陣列所具有的柵極或源極的連接器墊片3等。圖6(b)表示用以檢測TFT陣列基板1的測試框架11的概略，并且于測試框架11上設置有：開口部12，其形成為與面板2一致；以及連接器引腳13，其與上述連接器墊片3接觸并將電流供給至TFT陣列。再者，連接器引腳13形成于圖6(b)內面側，并借由使測試框架11疊合于TFT陣列基板1上而與測試框架11側的連接器墊片3接觸，并將電流供給至TFT陣列。

圖6(c)表示將測試框架11疊合于TFT陣列基板1后的狀態，并且通過開口部12而顯露有TFT陣列的面板2。

自并未圖示的電子束源對該TFT陣列基板1照射電子束，并于面板2上進行掃描，并以并未圖示的檢測器檢測自面板2所釋放出的二次電子，借此獲得TFT陣列的掃描圖像。

由于所取得的掃描圖像的訊號強度根據TFT陣列的像素狀態而產生變化，故而可借由使用該掃描圖像的訊號強度，而進行TFT陣列的像素的缺陷檢測。

圖7是表示借由多個電子束源(GUNa、GUNb、…)而進行掃描的示例。多個電子束源(GUNa、GUNb、…)將TFT陣列基板1劃分為若干區域，并對各區域進行掃描，獲得掃描圖像。各區域上的掃描可借由多個通路(例如，通路1～通路4)而進行。

如上所述，在使用多個電子束源的情形時，由于各電子束源存在不均一，故而存在使用各電子束源而取得的訊號強度會出現不均一的情形。如此，若檢測訊號的訊號強度存在不均一，則將影響TFT陣列的像素缺陷檢測的準確度。

因此，進行如下操作：將Al(鋁)等預先規定的原材料設置于測試框架11上的特定位置上而形成基準區域14，并且以將電子束照射至該基準區域14而獲得的二次電子的訊號強度為基準。

于進行TFT陣列的像素缺陷檢測的情形時，例如，根據來自設于像素以外的基準區域14所獲得的訊號強度而求出平均強度，并將其作為基準強度，形成校正曲線，并且基于該校正曲線而設定缺陷部分的訊號強度，借此進行缺陷檢測。

圖8是用以說明使用基準強度而形成校正曲線，并基于該校正曲線進行缺陷檢測的情形的圖。

圖8(a)表示借由以電子束源GUNa掃描面板A而取得的掃描圖像的強度分布A1，圖8(b)表示借由以電子束源GUNb掃描面板B而獲得的掃描圖像的強度分布B1。

比較圖8(a)所示的檢測訊號強度與圖8(b)所示的檢測訊號強度，則各自的標準強度并不相同。該標準強度由于是自同一強度區域14所獲得的訊號強度，故而可期待其為同一的訊號強度，但由于電子束源的不均一等原因，而成為并不相同的訊號強度。

因此，在圖8(a)所示的強度分布A1與圖8(b)所示的強度分布B1中，借由同一臨限值而判別缺陷部分的a及b的訊號強度時，會出現無法正確進行缺陷檢測的情形。因此，使用各強度分布A1及B1的分布中心與標準強度而使分布曲線產生變形，并形成圖8(c)所示的校正曲線，并且基于該校正曲線而決定缺陷部a及b的訊號強度，以此進行缺陷檢測。

上述方法是以借由多個電子束源而獲得的基準強度較為穩定的情形為前提的方法。然而，本專利申請案的發明者發現：照射基準區域而獲得的基準強度本身并不一定較為穩定，借由各電子束源而獲得的基準強度本身會出現波動，因而作為基準強度的可靠性較低。

因此，在將來自設于測試框架上的基準區域所獲得的訊號強度作為基準強度的方法中，存在如下問題，借由多個荷電粒子束源而取得的掃描圖像的訊號強度是不均一的。又，存在于缺陷檢測中將無法獲得高檢測準確度的問題。

發明內容