[發明專利]掃描束裝置的資料處理方法無效
| 申請號： | 200680007110.4 | 申請日： | 2006-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN101133473A | 公開（公告）日： | 2008-02-27 |
| 發明（設計）人： | 今井大輔 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | H01J37/22 | 分類號： | H01J37/22 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 壽寧 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描 束裝 資料 處理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種掃描束裝置的資料處理方法，將來自多個荷電粒子束源的荷電粒子束二維掃描于試料上，并形成掃描圖像的掃描束裝置中，其特征在于包括：
第1步驟，其針對借由各荷電粒子束所獲得的各掃描圖像的訊號強度，分別求出訊號強度分布；
第2步驟，其以成為同一分布形狀的方式使上述各訊號強度分布的分布形狀一致；以及
第3步驟，其求出使上述各訊號強度分布的分布形狀成為同一分布形狀時的各掃描圖像的訊號強度。
2.根據權利要求1所述的掃描束裝置的資料處理方法，其特征在于上述第2步驟是使各掃描圖像的訊號強度分布的標準偏差與基準的標準偏差一致的步驟。
3.根據權利要求2所述的掃描束裝置的資料處理方法，其特征在于上述第3步驟使用在上述第2步驟中所求得的為了使各掃描圖像的訊號強度的標準偏差與基準的標準偏差相一致的系數，校正各掃描圖像的訊號強度。
4.根據權利要求3所述的掃描束裝置的資料處理方法，其特征在于借由將上述經過校正的各掃描圖像的訊號強度與相同臨限值加以比較，而判別試料的缺陷。
5.根據權利要求4所述的掃描束裝置的資料處理方法，其特征在于上述試料是TFT陣列，上述荷電粒子束是電子束，并且對上述TFT陣列所具有的像素進行缺陷判定。
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