[發(fā)明專利]脆性材料制板切割方法及其設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680005719.8
• 申請日: 2006-02-16
• 公開（公告）號: CN101128294A
• 公開（公告）日: 2008-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 植原幸大;內(nèi)潟外茂夫;井中千草;陣田敏行;前田耕志;金澤明浩
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B23K26/40;B23K26/10;B23K26/38;C03B33/09
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于使用激光將玻璃板、陶瓷板等脆性材料制板切割為格子狀的方法及其設(shè)備。

背景技術(shù)

以往公知有這樣一種玻璃板切割方法，該方法在使用激光對玻璃板進行劃線后，使用激光來切割玻璃板。

另外，也提出了使用激光將玻璃板切割為格子狀的方法(參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2000-61677號公報

專利文獻1所記載的方法為，考慮到在使用激光切割設(shè)備沿與一次切割線正交的方向執(zhí)行二次切割時，裂紋在交叉點前停止擴展的不良情況，為了在存在這種不良情況的條件下也進行二次切割，還在切割線的交叉部分預先設(shè)置預備切割槽。

因此，不僅需要使用激光的切割處理，而且需要額外的預備切割槽的形成處理，整體來看使處理煩雜化。另外，該煩雜化對應于一次切割線的增加和二次切割線的增加而變得顯著。

進一步進行說明。

在專利文獻1的玻璃基板切割方法中，沒有特別注意玻璃基板的保持方法，一般使用外觀上平坦的工作臺。

在以這樣保持玻璃基板的狀態(tài)將玻璃基板切割為格子狀的情況下，由于工作臺的中央部分例如由旋轉(zhuǎn)式電動機支承，所以經(jīng)常產(chǎn)生周邊部不被支承的情況。另外，在工作臺的周邊部未被支承的情況下，由于自重使工作臺產(chǎn)生撓曲，并產(chǎn)生凸狀的翹曲。并且，受到工作臺的加工精度的影響，在工作臺上產(chǎn)生局部的凸狀翹曲。

進而，玻璃基板本身也由于玻璃的平坦度的影響，而局部產(chǎn)生凸狀的翹曲。

當產(chǎn)生這種凸狀的翹曲時，被切割的部分彼此遠離，在使用激光沿與該部分交叉的方向切割玻璃基板的情況下，裂紋的擴展中斷的可能性增大，交叉方向的玻璃基板的切割成功率下降。

另外，不僅是玻璃板，在使用激光將陶瓷板、晶片等切割為格子狀的情況下，也同樣產(chǎn)生該不良情況。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種脆性材料制板切割方法及其設(shè)備，能夠使用激光將脆性材料制板切割為格子狀，而無需形成額外的預備切割槽。

本發(fā)明的脆性材料制板切割方法是這樣的方法：在將脆性材料制板支承在支承臺上的狀態(tài)下，使用激光沿第一方向切割脆性材料制板，接著對支承在支承臺上的脆性材料制板作用外力，使被切割的部分彼此壓接，在該狀態(tài)下，使用激光沿與第一方向正交的第二方向切割脆性材料制板。

這里，所謂外力一般是指由某個機構(gòu)主動施加的力，但是也可以包括由玻璃基板的自重作用的力等最終施加的力。并且，作為脆性材料制板，可以列舉出玻璃板，陶瓷板，晶片等。所謂第一方向是指最初切割脆性材料制板的方向，可以任意設(shè)定。

在該情況下，可以通過改變支承臺的上表面的平坦度，對脆性材料制板作用外力，使得被切割的部分彼此壓接，或者也可以通過使支承臺的上表面變化為凹狀，對脆性材料制板作用外力，使得被切割的部分彼此壓接。

并且優(yōu)選的是，測量支承臺或脆性材料制板的平坦度，根據(jù)基于測量結(jié)果而確定的必要性，改變支承臺的上表面的平坦度和/或使支承臺的上表面變化為凹狀，以便對脆性材料制板作用外力，使得被切割的部分彼此壓接。

進而優(yōu)選使脆性材料制板吸附在支承臺上。

本發(fā)明的脆性材料制板切割設(shè)備包括：支承臺，其支承脆性材料制板；切割裝置，其使用激光切割脆性材料制板；移動裝置，它們使支承臺和切割裝置沿第一方向相對移動，之后使支承臺和切割裝置沿與第一方向正交的第二方向相對移動；以及外力裝置，它們在支承臺和切割裝置沿第二方向相對移動期間，作用外力以使脆性材料制板的被切割的部分彼此壓接。

這里，外力一般是指由某個機構(gòu)主動施加的力，但是也可以包括由玻璃基板的自重作用的力等最終施加的力。并且，作為脆性材料制板，可以列舉出玻璃板、陶瓷板、晶片等。

在該情況下，外力裝置可以通過通過改變支承臺的上表面的平坦度，對脆性材料制板作用外力，使得被切割的部分彼此壓接，或者，外力裝置也可以通過使支承臺的上表面變化為凹狀，對脆性材料制板作用外力，使得被切割的部分彼此壓接。

并且，上述脆性材料制板切割設(shè)備還包括測量支承臺或脆性材料制板的平坦度的平坦度測量裝置，作為外力裝置優(yōu)選采用這樣的裝置：根據(jù)基于測量結(jié)果而確定的必要性，改變支承臺的上表面的平坦度和/或使支承臺的上表面變化為凹狀，以便對脆性材料制板作用外力，使得被切割的部分彼此壓接。