[發明專利]晶片移動控制宏指令

有效

• 申請號: 200680004405.6
• 申請日: 2006-02-08
• 公開（公告）號: CN101573708A
• 公開（公告）日: 2009-11-04
• 發明（設計）人: 克里斯多弗·弗賴爾·索格林森
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: G06F19/00
• 分類號: G06F19/00;G06F7/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余 剛;尚志峰

1.一種用于創建一組晶片轉移指令的計算機實現方法，用于在等離子粒團工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之間轉移晶片，所述等離子粒團工具具有多個晶片保持位置，所述計算機實現方法包括：

接收第一用戶提供位置指示，所述第一用戶提供位置指示以圖形方式識別在所述等離子粒團工具的屏幕圖形表示上的所述起始晶片保持位置；

接收第二用戶提供位置指示，所述第二用戶提供位置指示以圖形方式識別在所述等離子粒團工具的屏幕圖形表示上的所述目的晶片保持位置；

確定與所述第一用戶提供位置指示和所述第二用戶提供位置指示之間的路徑相關的數據；

使用與第一晶片保持位置相關的傳感器以將所述第一晶片保持位置報告為不適于接受晶片的晶片保持位置；

將至少所述等離子粒團工具的所述第一晶片保持位置標記為可排除的；

從用于形成所述路徑的節點列表中排除所述第一晶片保持位置；以及

響應于與所述路徑相關的數據形成該組晶片轉移指令，該組晶片轉移指令被配置為沿著與所述路徑相關的晶片保持位置轉移所述晶片。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，通過用戶在所述等離子粒團工具的所述圖形表示上使用拖放操作來指示所述第一用戶提供位置指示和所述第二用戶提供位置指示。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，所述確定與所述路徑相關的所述數據采用“寬度-第一”遍歷算法。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，該組晶片轉移指令代表一組宏指令。

5.根據權利要求1所述的方法，進一步包含：

確定所述第一晶片保持位置是否能夠接受所述晶片；以及

根據所述確定執行所述標記。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表所述等離子粒團工具中的給定模塊的給定節點。

7.一種用于創建一組晶片轉移指令的計算機實現方法，被配置為在等離子粒團工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之間轉移晶片，所述等離子粒團工具具有多個晶片保持位置，所述計算機實現方法包括：

接收第一用戶提供位置指示，所述第一用戶提供位置指示以圖形方式識別所述等離子粒團工具的屏幕圖形表示上的所述起始晶片保持位置；

接收第二用戶提供位置指示，所述第二用戶提供位置指示以圖形方式識別所述等離子粒團工具的屏幕圖形表示上確定所述目的晶片保持位置；

確定與所述第一用戶提供位置指示和所述第二用戶提供位置指示之間的路徑相關的數據，所述路徑橫穿除了所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之外的至少一個其它晶片保持位置，所述路徑包括所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之間的晶片保持位置本身；

使用與第一晶片保持位置相關的傳感器以將所述第一晶片保持位置報告為不適于接受晶片的晶片保持位置；

將至少所述等離子粒團工具的所述第一晶片保持位置標記為可排除的；

從用于形成所述路徑的節點列表中排除所述第一晶片保持位置；以及

響應于與所述路徑相關的所述數據形成該組晶片轉移指令，該組晶片轉移指令被配置為用于沿著與所述路徑相關的晶片保持位置轉移所述晶片。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，通過用戶在所述等離子粒團工具的所述圖形表示上使用拖放操作來表示所述第一用戶提供位置指示和所述第二用戶提供位置指示。

9.根據權利要求7所述的方法，其中，所述確定與所述路徑相關的所述數據采用“寬度-第一”遍歷算法。

10.根據權利要求7所述的方法，其中，該組晶片轉移指令代表一組宏指令。

11.根據權利要求7所述的方法，進一步包含：

確定所述第一晶片保持位置是否能夠接受所述晶片；以及

根據所述確定執行所述標記。

12.根據權利要求7所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表所述等離子粒團工具中的給定模組的給定節點。