[發明專利]基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統和記錄介質

無效

• 申請號: 200680003010.4
• 申請日: 2006-12-26
• 公開（公告）號: CN101107613A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發明（設計）人: 志岐啟一郎
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G06F21/22
• 分類號: G06F21/22;G06F21/24
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統和記錄介質，特別是涉及根據基于軟件控制對基板進行處理的基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統和記錄介質。

背景技術

通常軟件的用戶有服從該許可協議的義務。許可協議的規定中有各種條款，在達成協議的用戶數、計算機的臺數、或在使用期間等范圍內允許使用軟件。

有時針對在半導體制造裝置等基板處理裝置上工作的軟件，在基板處理裝置的制造商和基板處理裝置的用戶之間簽訂許可協議。在這種情況下，基板處理裝置的制造商向用戶要求軟件的許可費，在繳納該許可費后，才允許使用該軟件。具體而言，與一般的軟件相同，基板處理裝置的制造商通知用戶許可密鑰(licence?key)等，輸入該許可密鑰等，此后可以使用該軟件。

然而，在該許可協議僅在制造商與該用戶之間有效的情況下，當該用戶轉賣基板處理裝置時，制造商可以向轉賣對方的用戶重新要求許可費。

專利文獻1：日本特開2005-84889號公報

但是，一直以來只要沒有來自用戶的報告，制造商很難察覺基板處理裝置的轉賣。作為實際問題，根據制造商所派遣的保養作業員的報告，也許能夠察覺基板處理裝置被轉移到了某處。但是，可以想象如果轉賣對方的用戶不合作，很難正確地把握轉賣的目的地。

于是，存在不得不眼睜睜地看著該軟件被不正當地使用，制造商無法要求軟件的許可費，導致利益蒙受侵害的問題。

而且，在專利文獻1所記載的技術中，即使能夠對每個作為許可對象的機器進行許可管理，也很難在該機器被轉賣時妥當地防止該機器所用的軟件的使用。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠妥當地防止在基板處理裝置中工作的軟件的不正當使用的基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統和記錄介質。

因此，為了解決上述課題，本發明提供了一種根據基于軟件控制對基板進行處理的基板處理裝置，其特征在于，包括：許可信息接收單元，定期從通過網絡連接的許可信息提供裝置接收上述軟件的許可信息；許可信息解析單元，從上述許可信息取出上述許可信息提供裝置在網絡上的地址信息；和許可判定單元，將從上述許可信息取出的上述地址信息與預先保存在該基板處理裝置中的上述許可信息提供裝置的上述地址信息進行比較。并且，在兩個上述地址信息的值不一致的情況下，限制上述軟件的至少一部分功能的執行。

并且，為了解決上述課題，本發明提供了一種通過網絡與上述基板處理裝置連接的許可信息提供裝置，其特征在于，包括：許可信息生成單元，根據該許可信息提供裝置的上述地址信息，生成上述許可信息；和許可信息發送單元，向上述基板處理裝置發送上述許可信息。

根據上述基板處理裝置和上述許可信息提供裝置，能夠妥當地防止在基板處理裝置中工作的軟件的不正當使用。

發明效果

根據本發明，提供一種能夠妥當地防止在基板處理裝置中工作的軟件的不正當使用的基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統和記錄介質。

附圖說明

圖1是表示本發明實施方式中的基板處理裝置構成例示意圖。

圖2是表示第一實施方式中的網絡構成例和系統控制器構成例的圖。

圖3是表示本發明實施方式中的許可密鑰服務器的硬件構成例的圖。

圖4是表示第一實施方式中的用于實現許可管理系統的許可密鑰服務器和基板處理裝置的功能構成例的圖。

圖5是用于說明輸入初始密鑰時許可密鑰服務器中的初始設定處理的處理順序的流程圖。

圖6是用于說明接收初始密鑰時基板處理裝置中的處理順序的流程圖。

圖7是用于說明基板處理裝置中許可的更新處理的處理順序的流程圖。

圖8是用于說明許可密鑰服務器中的許可密鑰的更新處理的流程圖。

圖9是表示第二實施方式中的網絡構成例和系統控制器構成例的圖。

圖10是表示第三實施方式中的網絡構成例和系統控制器構成例的圖。

圖11是表示本發明實施方式中的第二基板處理裝置的構成例的示意圖。

圖12是表示本發明實施方式中的第三基板處理裝置的構成例的示意圖。

圖13是第二處理單元的截面圖。

圖14是表示第二處理舟構成的立體示意圖。