[發(fā)明專利]基板處理裝置、許可管理程序、許可信息提供裝置、許可信息提供程序、許可管理系統(tǒng)和記錄介質(zhì)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680003010.4
• 申請(qǐng)日: 2006-12-26
• 公開（公告）號(hào): CN101107613A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 志岐啟一郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G06F21/22
• 分類號(hào): G06F21/22;G06F21/24
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍淳

1.一種基板處理裝置，根據(jù)基于軟件的控制對(duì)基板進(jìn)行處理，其特征在于：

包括：許可信息接收單元，定期從通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接的許可信息提供裝置接收所述軟件的許可信息；

許可信息解析單元，從所述許可信息取出所述許可信息提供裝置在網(wǎng)絡(luò)上的地址信息；和

許可判定單元，將從所述許可信息取出的所述地址信息與預(yù)先保存在該基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述地址信息進(jìn)行比較，

在兩個(gè)所述地址信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。

2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于：

所述許可信息解析單元從所述許可信息取出裝置固有信息，所述裝置固有信息為每個(gè)所述基板處理裝置所具有的固有值，

所述許可判定單元將從所述許可信息取出的所述裝置固有信息與該基板處理裝置的所述裝置固有信息進(jìn)行比較，

在兩個(gè)所述裝置固有信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。

3.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于：

所述許可信息解析單元從所述許可信息取出允許使用所述軟件的所述基板處理裝置的所述地址信息，

所述許可判定單元將從所述許可信息取出的所述基板處理裝置的所述地址信息與設(shè)定在該基板處理裝置中的所述地址信息進(jìn)行比較，

在兩個(gè)所述地址信息不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。

4.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于：

預(yù)先保存在所述基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述地址信息，包含在最初從所述許可信息提供裝置接收的所述許可信息之中。

5.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，包括：

期限管理單元，管理從接收到所述許可信息時(shí)開始經(jīng)過(guò)的相對(duì)時(shí)間；和

許可信息請(qǐng)求單元，在所述經(jīng)過(guò)的相對(duì)時(shí)間達(dá)到所述許可信息的有效期限的規(guī)定期間內(nèi)時(shí)，向所述許可信息提供裝置發(fā)送所述許可信息的更新請(qǐng)求。

6.如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于：

在發(fā)送所述許可信息的更新請(qǐng)求后，在規(guī)定期間內(nèi)沒有收到所述許可信息時(shí)，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。

7.一種許可管理程序，其特征在于：

在根據(jù)基于軟件的控制對(duì)基板進(jìn)行處理的基板處理裝置中，執(zhí)行下述步驟：

許可信息接收步驟，定期從通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接的許可信息提供裝置接收所述軟件的許可信息；

許可信息解析步驟，從所述許可信息取出所述許可信息提供裝置在網(wǎng)絡(luò)上的地址信息；和

許可判定步驟，將從所述許可信息取出的所述地址信息與預(yù)先保存在該基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述地址信息進(jìn)行比較，

在兩個(gè)所述地址信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。

8.如權(quán)利要求7所述的許可管理程序，其特征在于：

所述許可信息解析步驟從所述許可信息取出裝置固有信息，該裝置固有信息為每個(gè)所述基板處理裝置所具有的固有值，

所述許可判定步驟將從所述許可信息取出的所述裝置固有信息與該基板處理裝置的所述裝置固有信息進(jìn)行比較，

在兩個(gè)所述裝置固有信息的值不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。

9.如權(quán)利要求7所述的許可管理程序，其特征在于：

所述許可信息解析步驟從所述許可信息取出允許使用所述軟件的所述基板處理裝置的所述地址信息，

所述許可判定步驟將從所述許可信息取出的所述基板處理裝置的所述地址信息與設(shè)定在該基板處理裝置中的所述地址信息進(jìn)行比較，

在兩個(gè)所述地址信息不一致的情況下，限制所述軟件的至少一部分功能的執(zhí)行。

10.如權(quán)利要求7所述的許可管理程序，其特征在于：

預(yù)先保存在所述基板處理裝置中的所述許可信息提供裝置的所述地址信息，包含在最初從所述許可信息提供裝置接收的所述許可信息之中。