[發(fā)明專利]激光加工裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680002183.4
• 申請日: 2006-09-28
• 公開（公告）號: CN101253018A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發(fā)明（設計）人: 金田充弘;管原雅之;杉村好司
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/02;B23K26/08
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產權代理有限公司
• 代理人: 何立波;張?zhí)焓?/td>

技術領域

本發(fā)明涉及對加工臺上的多個工件進行激光加工的激光加工裝置。

背景技術

近年來，為了高精度且快速地對工件進行激光加工，開發(fā)了多種激光加工裝置。作為這種激光加工裝置，有例如設置多個加工頭，同時加工多個工件(被加工物)的激光加工裝置。在由多個加工頭同時加工多個工件的情況下，通過檢測各工件的位置相對于加工臺的偏差量，由fθ透鏡對檢測出的位置偏差量進行校正，高精度地加工各工件。

專利文獻1中記載的加工裝置，其利用安裝在各加工頭上的檢測單元檢測各被加工物的位置，根據(jù)檢測到的數(shù)據(jù)，使加工臺移動到每個加工頭的位置偏差大致相同的位置上，由此高精度地同時加工多個被加工物。

另外，專利文獻2中記載的激光加工裝置，其具有將來自1個激光振蕩器的激光分為多束的激光束分割單元，從激光束分割單元到各被加工物之間，分別對各激光束設置激光束遮擋機構，以遮擋激光束。而且，獨立控制對載置于各加工軸上的各被加工物的激光束的照射、不照射。

專利文獻1：特開2002-361463號公報

專利文獻2：特開2003-112275號公報

發(fā)明內容

但是，上述前者的現(xiàn)有技術中，在要加工多個工件的情況下，即使多個工件的偏差量中有1個工件的偏差量未落入規(guī)定的偏差量之內，也必須檢測異常而中止所有的工件加工。因此，存在即使1個工件偏差量未落入規(guī)定的偏差量之內的情況下，也無法快速進行工件加工的問題。另外，在上述前者的現(xiàn)有技術中，在使工作臺以使多個工件的偏差量相等的方式移動之后，要判斷是進行多個工件加工還是中止。因此，存在中止工件加工的情況下，工作臺無用地進行移動動作的問題。

另外，在上述后者的現(xiàn)有技術中，在多個工件的偏差量未落入規(guī)定的偏差量之內的情況下，必須遮擋規(guī)定的激光束，僅由未被遮擋的激光束進行加工。因此，存在無法加工激光束被遮擋一側的工件，不能快速進行加工的問題。

本發(fā)明是鑒于上述情況提出的，目的在于得到一種激光加工裝置，其能夠高精度、快速地進行工件激光加工。

為了解決上述課題，實現(xiàn)目的，本發(fā)明的激光加工裝置，其從多個激光照射軸，經由與各激光照射軸對應的fθ透鏡，同時照射多個激光束，同時對載置于1個加工臺上的多個工件進行激光加工，其特征在于，具有：偏差值計算部，其對于每個工件，檢測前述各工件相對于前述加工臺的位置偏差，計算每個工件相對于前述加工臺的位置偏差值；加工方法選擇部，其根據(jù)前述偏差值計算部計算出的位置偏差值，從預先設定的多種加工方法中選擇與前述位置偏差值對應的工件的加工方法；校正值設定部，其根據(jù)前述加工方法選擇部選擇出的加工方法，設定對前述各工件的位置偏差進行校正的前述加工臺的移動量的校正值；以及加工控制部，其在利用由前述加工方法選擇部選擇出的加工方法，使用由前述校正值設定部設定的校正值，加工前述加工臺上的多個工件時，進行加工控制，前述加工方法選擇部，在前述加工臺上的某個工件處于可以經由前述fθ透鏡進行激光加工的區(qū)域之外、且前述加工臺上的各工件間的位置偏差值的差小于規(guī)定值的情況下，從前述多種加工方法中選擇同時加工方法，該同時加工方法是向前述加工臺上的所有工件同時照射前述激光束，對前述加工臺上的所有工件進行同時加工，前述校正值設定部，在前述加工方法選擇部選擇了前述同時加工方法的情況下，設定前述校正值，以使得前述加工臺上的所有工件，進入可以經由與各工件對應的fθ透鏡同時進行激光加工的區(qū)域內。

發(fā)明的效果

本發(fā)明涉及的激光加工裝置，根據(jù)計算出的位置偏差值，從預先設定的多種加工方法中選擇與位置偏差值對應的工件加工方法，在加工臺上的某個工件處于可以經由fθ透鏡進行激光加工的區(qū)域之外、且加工臺上的各工件間的位置偏差值小于規(guī)定值的情況下，因為選擇下述同時加工方法，即，設定校正值，以使得加工臺上的所有工件進入可經由與各工件對應的fθ透鏡、同時進行激光加工的區(qū)域內，同時向加工臺上的所有工件照射激光束，進行加工臺上的所有工件的同時加工，所以，起到能夠高精度、快速進行工件激光加工的效果。

附圖說明

圖1是表示實施方式涉及的激光加工系統(tǒng)的結構的圖。

圖2是表示實施方式涉及的激光加工裝置的結構的框圖。

圖3是表示實施方式涉及的激光加工系統(tǒng)的動作順序的流程圖。

圖4是表示通過電控反射鏡調整使得工件處于加工范圍內的情況的圖。

圖5是表示通過電控反射鏡調整使得工件不處于加工范圍內的情況的圖。

圖6是表示僅在電控反射鏡調整中，2個工件不處于加工范圍內的情況的一個例子的圖。