[發(fā)明專利]激光加工裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680002183.4
• 申請(qǐng)日: 2006-09-28
• 公開（公告）號(hào): CN101253018A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金田充弘;管原雅之;杉村好司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00;B23K26/02;B23K26/08
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 何立波;張?zhí)焓?/td>

1.一種激光加工裝置，其從多個(gè)激光照射軸，經(jīng)由與各激光照射軸對(duì)應(yīng)的fθ透鏡，同時(shí)照射多個(gè)激光束，同時(shí)對(duì)載置于1個(gè)加工臺(tái)上的多個(gè)工件進(jìn)行激光加工，其特征在于，具有：

偏差值計(jì)算部，其對(duì)于每個(gè)工件，檢測(cè)前述各工件相對(duì)于前述加工臺(tái)的位置偏差，計(jì)算每個(gè)工件相對(duì)于前述加工臺(tái)的位置偏差值；

加工方法選擇部，其根據(jù)前述偏差值計(jì)算部計(jì)算出的位置偏差值，從預(yù)先設(shè)定的多種加工方法中選擇與前述位置偏差值對(duì)應(yīng)的工件的加工方法；

校正值設(shè)定部，其根據(jù)前述加工方法選擇部選擇出的加工方法，設(shè)定對(duì)前述各工件的位置偏差進(jìn)行校正的前述加工臺(tái)的移動(dòng)量的校正值；以及

加工控制部，其在利用由前述加工方法選擇部選擇出的加工方法，使用由前述校正值設(shè)定部設(shè)定的校正值，加工前述加工臺(tái)上的多個(gè)工件時(shí)，進(jìn)行加工控制，

前述加工方法選擇部，在前述加工臺(tái)上的某個(gè)工件處于可以經(jīng)由前述fθ透鏡進(jìn)行激光加工的區(qū)域之外、且前述加工臺(tái)上的各工件間的位置偏差值的差小于規(guī)定值的情況下，從前述多種加工方法中選擇同時(shí)加工方法，該同時(shí)加工方法是向前述加工臺(tái)上的所有工件同時(shí)照射前述激光束，對(duì)前述加工臺(tái)上的所有工件進(jìn)行同時(shí)加工，

前述校正值設(shè)定部，在前述加工方法選擇部選擇了前述同時(shí)加工方法的情況下，設(shè)定前述校正值，以使得前述加工臺(tái)上的所有工件，進(jìn)入可以經(jīng)由與各工件對(duì)應(yīng)的fθ透鏡同時(shí)進(jìn)行激光加工的區(qū)域內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

還具有加工方法設(shè)定部，其預(yù)先設(shè)定在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，使前述加工方法選擇部選擇的加工方法，

前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇由前述加工方法設(shè)定部設(shè)定的加工方法。

3.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇單獨(dú)加工方法，該單獨(dú)加工方法是在前述各工件的每次激光加工時(shí)，使前述加工臺(tái)移動(dòng)，對(duì)每個(gè)前述工件進(jìn)行單獨(dú)加工，

前述校正值設(shè)定部，對(duì)每個(gè)前述各工件設(shè)定前述校正值，以使得通過前述各工件的每次激光加工時(shí)的前述加工臺(tái)的移動(dòng)，前述各工件進(jìn)入可以經(jīng)由與前述各工件對(duì)應(yīng)的fθ透鏡進(jìn)行激光加工的區(qū)域內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇下述加工方法：使前述加工臺(tái)上的所有工件，返回配置在外部并在搬入前述工件時(shí)進(jìn)行工件定位的定位裝置，在使該定位裝置進(jìn)行前述所有工件的定位之后，將定位后的前述所有工件再次搬入前述加工臺(tái)，

前述校正值設(shè)定部，對(duì)前述定位裝置設(shè)定校正前述各工件的定位位置的第1定位校正值，以使得再次搬入到前述加工臺(tái)上的所有工件，進(jìn)入可以經(jīng)由與各工件對(duì)應(yīng)的fθ透鏡同時(shí)進(jìn)行激光加工的區(qū)域內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇下述加工方法：將載置于前述加工臺(tái)上的規(guī)定工件從前述加工臺(tái)上提起，同時(shí)在前述規(guī)定的工件被提起期間，使前述加工臺(tái)移動(dòng)，在前述加工臺(tái)移動(dòng)后，將前述規(guī)定工件再次載置到前述加工臺(tái)上。

前述校正值設(shè)定部設(shè)定前述校正值，以使得通過前述加工臺(tái)的移動(dòng)，載置于前述加工臺(tái)上的所有工件進(jìn)入可以經(jīng)由與各工件對(duì)應(yīng)的fθ透鏡同時(shí)進(jìn)行激光加工的區(qū)域內(nèi)。

6.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇下述加工方法：使配置在外部并用于搬出前述工件的搬出裝置將前述加工臺(tái)上的所有工件搬出，同時(shí)由配置在外部并在搬入前述工件時(shí)進(jìn)行定位的定位裝置，進(jìn)行下一批搬入的各工件的定位，將定位后的各工件搬入前述加工臺(tái)，

前述校正值設(shè)定部，對(duì)前述定位裝置設(shè)定校正前述各工件的定位位置的第2定位校正值，以使得搬入到前述加工臺(tái)上的下一批的所有工件，進(jìn)入可以經(jīng)由與各工件對(duì)應(yīng)的fθ透鏡同時(shí)進(jìn)行激光加工的區(qū)域內(nèi)。

7.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇下述加工方法：由配置在外部并用于搬出前述工件的搬出裝置將前述加工臺(tái)上的所有工件搬出，同時(shí)使配置在外部并在前述工件搬入時(shí)進(jìn)行定位的定位裝置，進(jìn)行下一批搬入的各工件的定位，將定位后的工件中的規(guī)定的工件搬入前述加工臺(tái)，使前述加工臺(tái)移動(dòng)，在前述加工臺(tái)移動(dòng)后，將定位后的工件中的其余工件搬入前述加工臺(tái)，

前述校正值設(shè)定部設(shè)定前述校正值，以使得搬入前述加工臺(tái)上的所有工件，進(jìn)入可以經(jīng)由與各工件對(duì)應(yīng)的fθ透鏡同時(shí)進(jìn)行激光加工的區(qū)域。