[實用新型]一種預(yù)防曝光后烘烤過程中晶片傾斜的系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620160762.9
• 申請日: 2006-11-22
• 公開（公告）號: CN201007781Y
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳耀
• 申請（專利權(quán)）人: 和艦科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: G03F7/40
• 分類號: G03F7/40;H01L21/027
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王光輝

1.一種預(yù)防曝光后烘烤過程中晶片傾斜的系統(tǒng)，包括傳送臂，熱板，安裝于熱板上方的可移動的冷板，可升降的三腳支架，多個熱板晶片導(dǎo)引器，安裝在上述熱板上，其特征是還包括：

多個冷板晶片導(dǎo)引器，安裝在上述冷板上；

上述冷板晶片導(dǎo)引器為柱狀，頂端為光滑拋物面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征是：

還具有多個光敏元件，安裝在上述冷板上，上述多個光敏元件用來探測晶片的斜跨；

上述冷板晶片導(dǎo)引器的高度大于上述光敏元件的高度；以及

報警裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的系統(tǒng)，其特征是上述光敏元件的安裝位置使得當(dāng)上述晶片斜跨在上述晶片導(dǎo)引器上，且斜跨部分過大導(dǎo)致晶片導(dǎo)引器無法幫助晶片定位時，上述光敏元件會由于晶片遮擋住光路時而觸發(fā)導(dǎo)通，讓上述報警裝置發(fā)出警報。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征是上述冷板上開有一條長狹縫與一條短狹縫，其位置使得上述冷板移動到上述熱板上方時，上述三腳支架的一只腳位于上述短狹縫中，上述三腳支架的另兩只腳位于上述長狹縫中。