[實(shí)用新型]擴(kuò)散爐的爐門密封裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620148207.4
• 申請日: 2006-10-31
• 公開（公告）號: CN200972331Y
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李補(bǔ)忠;鐘華;盛金龍;郝曉明
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18
• 代理公司: 北京中宸聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 徐光熙

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種在擴(kuò)散爐閉管擴(kuò)散工藝中的推拉舟系統(tǒng)上的爐門密封裝置。

背景技術(shù)

爐門密封裝置裝在擴(kuò)散爐的推拉舟系統(tǒng)上，通過推拉舟的運(yùn)動使?fàn)t門密封裝置與工藝管緊密的貼合，與外部隔絕并保持一定的密封度，來滿足用于太陽能電池生產(chǎn)線上的閉管擴(kuò)散工藝。

傳統(tǒng)的擴(kuò)散爐均是開管工藝，即爐門與工藝管不需要密封。因此，爐門裝置比較簡單，只有中心挑桿，SiC槳與底座、蓋板直接接觸，石英爐門只是一個平圓板，同時開有煙囪，使工藝管內(nèi)的殘余氣體方便排出。這樣的結(jié)構(gòu)無法滿足閉管擴(kuò)散要求，同時排出的殘余氣體污染環(huán)境。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提出一種用在擴(kuò)散爐閉管擴(kuò)散工藝中的爐門密封裝置，密封性好，操作方便。

為此，本實(shí)用新型提供了一種用在擴(kuò)散爐的推拉舟系統(tǒng)上的爐門密封裝置，包括有石英爐門和SiC槳，所述密封裝置包括有O型密封圈、固定管和波紋管，所述O型密封圈設(shè)置在石英爐門與工藝管之間；所述固定管緊密接觸在SiC槳外，且在石英爐門上SiC槳穿孔處設(shè)有一內(nèi)方外圓的突起法蘭；所述波紋管設(shè)置在突起法蘭和固定管之間。

所述爐門密封裝置包括有五根能彈性伸縮的頂桿，在石英爐門外側(cè)圓周分布，且頂靠在石英爐門上，另一端穿過不銹鋼爐門，且與不銹鋼爐門通過大彈簧連接；該五根頂桿都固定在支架上。

本實(shí)用新型有如下優(yōu)點(diǎn)：在石英爐門與工藝管之間增設(shè)O型密封圈，將爐門與工藝管之間進(jìn)行密封，同時在石英爐門與SiC槳接觸處設(shè)有一內(nèi)方外圓的突起法蘭，不影響SiC槳的操作；解決了閉管擴(kuò)散要求，同時避免了排出的殘余氣體污染環(huán)境。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的右視圖。

其中：1：頂桿????2：調(diào)節(jié)釘帽????3：石英爐門????4：O型密封圈

??????5：挑桿????6：突起法蘭????7：波紋管??????8：固定管

??????9：不銹鋼爐門???????10：SiC槳?????????11：大彈簧

??????12：小彈簧??????????13：旋鈕??????????14：底座

??????15：推拉舟??????????16：支架

具體實(shí)施方式

如圖1和2所示的一種用在擴(kuò)散爐的推拉舟系統(tǒng)上的爐門密封裝置，通過底座14固定連接在推拉舟15上，在推拉舟15作用下移動，該爐門密封裝置包括有石英爐門3和SiC槳10，石英爐門3上開有密封槽，裝上O型密封圈4；用挑桿5挑著的石英爐門3通過O型密封圈4與工藝管緊密接觸，避免工藝管中的殘余氣體排出；為了防止SiC槳10與外部大氣接觸而影響壽命，在石英爐門3上SiC槳10穿孔處設(shè)有一內(nèi)方外圓的突起法蘭6，以及采用具有耐腐蝕功能的固定管8緊密接觸在SiC槳10外，同時在突起法蘭6和固定管8之間采用具有耐腐蝕功能波紋管7，方便操作。

石英爐門3可以通過設(shè)置的五根頂桿1來調(diào)節(jié)密封狀況，五根頂桿1在石英爐門3外側(cè)圓周分布，與石英爐門3之間裝有調(diào)節(jié)釘帽2，來調(diào)節(jié)石英爐門3的受力，頂桿1另一端穿過不銹鋼爐門9，且與不銹鋼爐門9通過大彈簧11連接，五根頂桿1都固定在支架16上；頂桿1為套裝的兩根桿和內(nèi)設(shè)的小彈簧12組成，具有彈性伸縮性能，且在頂桿1另一端頭設(shè)有可調(diào)節(jié)小彈簧12彈性的旋鈕13。

石英爐門3與工藝管的密封性能主要由推拉舟15提供壓力，但還可以由小彈簧12來局部調(diào)整。通過以上改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了爐門的密封功能。

爐門密封裝置在推拉舟15作用下移動，當(dāng)石英爐門3接觸到工藝管，即O型密封圈4與工藝管緊密接觸，此時頂桿1由于自身的彈性，起到緩沖作用，避免石英爐門3的損壞；相應(yīng)此時的不銹鋼爐門9也與擴(kuò)散爐的外門接觸上，通過大彈簧11同樣起到減震效果。然后采用旋鈕13來微調(diào)密封性。