[實用新型]擴散爐的爐門密封裝置

無效

• 申請號: 200620148207.4
• 申請日: 2006-10-31
• 公開（公告）號: CN200972331Y
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發明（設計）人: 李補忠;鐘華;盛金龍;郝曉明
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18
• 代理公司: 北京中宸聯合知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐光熙

1、一種擴散爐的爐門密封裝置，包括有石英爐門(3)和SiC槳(10)，其特征在于：所述密封裝置包括有O型密封圈(4)、固定管(8)和波紋管(7)，所述O型密封圈(4)設置在石英爐門(3)與工藝管之間；所述固定管(8)緊密接觸在SiC槳(10)外，且在石英爐門(3)上SiC槳(10)穿孔處設有一內方外圓的突起法蘭(6)；所述波紋管(7)設置在突起法蘭(6)和固定管(8)之間。

2、根據權利要求1所述的擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于：所述爐門密封裝置包括有五根能彈性伸縮的頂桿(1)，在石英爐門(3)外側圓周分布，且頂靠在石英爐門(3)上，另一端穿過不銹鋼爐門(9)，且與不銹鋼爐門(9)通過大彈簧(11)連接；該五根頂桿(1)都固定在支架(16)上。